浙江瞻芯电子科技有限公司;上海瞻芯电子科技股份有限公司黄丽获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江瞻芯电子科技有限公司;上海瞻芯电子科技股份有限公司申请的专利一种参数转化方法、碳化硅晶圆定向方法以及碳化硅晶圆注入方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119089083B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411185345.9，技术领域涉及：G06F17/10；该发明授权一种参数转化方法、碳化硅晶圆定向方法以及碳化硅晶圆注入方法是由黄丽;原野;王贺;陈思哲设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种参数转化方法、碳化硅晶圆定向方法以及碳化硅晶圆注入方法在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造技术领域，具体公开了一种参数转化方法，包括：本申请的优点在于可以将XRD仪器测量的数据以标准化的方法转化为注入机的工艺参数，可以直接用于生产，从而避免为不同品牌、批次的晶圆、不同品牌、型号的离子注入机反复计算转化矩阵。
本发明授权一种参数转化方法、碳化硅晶圆定向方法以及碳化硅晶圆注入方法在权利要求书中公布了：1.一种参数转化方法，其特征在于，用于计算向晶圆注入离子束时所需的指定晶向的晶向角，包括如下步骤： S1，在所述晶圆表面确定两点，以连接所述两点的连线为X轴，并以所述晶圆表面上与X轴垂直的方向为Y轴，以所述晶圆的法向为Z轴，确定第一坐标系； S2，将所述晶圆放入XRD机中，并且令所述第一坐标系的X轴与XRD机的坐标系中的X轴重合，所述第一坐标系的Y轴与XRD机的坐标系中的Y轴重合； S3，基于所述XRD机测出的晶向角数据，换算出所述晶圆的指定晶向在所述第一坐标系内的α角和β角数据，所述α角为所述指定晶向在所述第一坐标系的XY平面上的投影与X轴之间的夹角，所述β角为所述指定晶向与所述第一坐标系的Z轴之间的夹角； S4，将所述晶圆放入离子注入机中，并且令所述第一坐标系的X轴与离子注入机的坐标系中的X轴重合，所述第一坐标系的Y轴与离子注入机的坐标系中的Y轴重合； S5，调整晶圆，以使得所述指定晶向与所述离子注入机的注入方向一致。
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