武汉香榭轩新材料技术有限公司;苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司王涛获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉香榭轩新材料技术有限公司;苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司申请的专利一种采用异质流制备超高纯盐酸的方法、氯化氢的提纯方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118929577B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411252568.2,技术领域涉及:C01B7/07;该发明授权一种采用异质流制备超高纯盐酸的方法、氯化氢的提纯方法是由王涛;魏远征;王萧;季家友;熊礼威;王升高;邢廷湘设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种采用异质流制备超高纯盐酸的方法、氯化氢的提纯方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种采用异质流制备超高纯盐酸的方法、氯化氢的提纯方法,该方法首先采用加络合剂和还原剂对氯化氢进行除杂处理,以两种试剂的同时作用,克服盐酸与四氯化锡共沸难去除问题及游离氯的影响,采用非氯化氢物料人为制造超高纯异质流介质膜层,形成气液交换,进行异质流净化提纯氯化氢气体,用超纯水等吸收得超高纯盐酸,该超高纯盐酸单项金属小于10ppt,达到国际半导体协会SEMIC12标准,满足12寸以上芯片制备要求,可用于高集成度芯片的清洗和刻蚀;另可经冷冻压缩获得超高纯氯化氢,该氯化氢纯度可以达到6.5N,满足半导体特气要求。与现有技术相比,本发明具有工艺流程简单,生产效率高,节能环保等优点。
本发明授权一种采用异质流制备超高纯盐酸的方法、氯化氢的提纯方法在权利要求书中公布了:1.一种采用异质流制备超高纯盐酸的方法,所述超高纯盐酸中,各项金属阳离子的质量含量在10ppt以下,除氯离子外,各项阴离子的质量含量在50ppb以下,所述方法以氯化氢为原料,所述原料氯化氢含有的杂质包括四氯化锡和游离氯,其特征在于,所述方法包括: 工序1:氯化氢的预处理 将原料氯化氢通入含水反应体系中进行预处理,获得预处理的氯化氢;其中,所述含水反应体系包含水、能够使四氯化锡形成离子形式的氯锡酸盐的络合剂以及能够将游离氯中的氯还原成氯离子的还原剂; 工序2:氯化氢的异质流提纯 使所述预处理的氯化氢形成待处理气流,使其经过异质流提纯层进行提纯,获得提纯后的氯化氢;其中,所述异质流提纯层中,采用非氯化氢的液态流体流动形成异质流,所述异质流与所述待处理气流之间形成气液交换的异质流介质膜; 工序3:氯化氢的收集 采用水和或盐酸吸收提纯后的氯化氢,获得超高纯盐酸。
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