中山智隆新材料科技有限公司葛春桥获国家专利权
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龙图腾网获悉中山智隆新材料科技有限公司申请的专利一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118108497B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410221540.6，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材是由葛春桥;李强;钟威平;高洋设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材在说明书摘要公布了：本申请涉及靶材技术领域，具体公开了一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材。本申请的方法通过硝酸镨的受热分解使得靶材坯体中产生了氧化镨，得到了氧化镨含量更高的氧化物靶材。随着氧化镨含量的增加，氧化物靶材中的正四价镨的总量也随之上升，而正四价镨能够改善IGZO靶材的载流子迁移率，因而有助于充分满足新产品的性能需求。
本发明授权一种氧化物靶材的制备方法以及镨掺杂IGZO氧化物靶材在权利要求书中公布了：1.一种氧化物靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将氧化物粉体、消泡剂和分散剂混合后进行初次球磨，得到球磨粉料，将球磨粉料、水和至少一种稀土硝酸盐混合后进行二次球磨，得到混合浆料；所述氧化物粉体由如下重量份的金属氧化物组成：氧化镨1-4份，氧化铟65-70份，氧化镓9-12份，氧化锌18-22份，所述稀土硝酸盐包括硝酸镨，所述氧化镨和硝酸镨的摩尔比为1:0.04-0.18； 2对混合浆料进行喷雾干燥，得到造粒粉； 3将造粒粉和粘结剂混合，然后对所得物进行液压成型，并进行冷等静压处理，得到靶材坯体； 4对靶材坯体进行有氧氛围升温烧结，以0.1-1.0℃min的速率升温至640-680℃，然后保温10-12h，之后再在无氧氛围下以1-2℃min的速率升温至1320-1340℃，保温10-15h之后进行降温处理，得到氧化物靶材。
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