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龙图腾网获悉芯率智能科技(苏州)有限公司申请的专利一种环形缺陷的识别方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117671376B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311684453.6，技术领域涉及：G06V10/764；该发明授权一种环形缺陷的识别方法及系统是由苏远丽;金肖明;杨鑫;杜余峰;王明照;沈明杰;马佳豪设计研发完成，并于2023-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种环形缺陷的识别方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种环形缺陷的识别方法及系统，包括步骤：采用缺陷分类模型对缺陷图形进行缺陷分类得到至少一个图形集；获取实际生产信息，其包括机台的维护等级，以及图形集的图形数量；根据实际生产信息选取推荐的图形处理方式，图形处理方式包括：叠图，拟合；其中，当实际生产信息符合第一、第二处理条件时，则推荐的图形处理方式分别为叠图与拟合；选用推荐的图形处理方式对图形集进行图形处理，以得到新缺陷图形；根据新缺陷图形判断导致环形缺陷产生的故障类型。本发明提出了一种基于机台、产品数据融合指导的图形处理的方案，以在提升缺陷定位效率的同时保证定位结果的可靠性。

本发明授权一种环形缺陷的识别方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种环形缺陷的识别方法，其特征在于，包括步骤： S201获取多个样本晶圆的多个第一缺陷图形，并采用缺陷分类模型对所述多个第一缺陷图形进行缺陷分类，以得至少一个第一图形集，且所述第一图形集包括：至少一个存在环形缺陷的缺陷图形； S202获取实际生产信息，且所述实际生产信息包括：通过机台维护监控系统获取的样本晶圆在加工过程中所经历的至少一个机台的维护等级，以及第一图形集的图形数量； S203根据所述实际生产信息选取推荐的图形处理方式，所述图形处理方式包括：叠图，拟合；其中，当所述实际生产信息符合第一处理条件时，则推荐的图形处理方式为叠图；和或，当所述实际生产信息符合第二处理条件时，则推荐的图形处理方式为拟合；其中，所述第一处理条件指的是所述维护等级小于或等于设定维护等级，且图形数量大于或等于第一设定数量；所述第二处理条件指的是所述维护等级大于设定维护等级，且图形数量小于第一设定数量； S204选用推荐的图形处理方式对所述第一图形集进行图形处理，以得到第二缺陷图形； S205根据所述第二缺陷图形判断导致所述环形缺陷产生的故障类型。

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