东莞南玻智能装备制造有限公司;中国南玻集团股份有限公司雷雨获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞南玻智能装备制造有限公司;中国南玻集团股份有限公司申请的专利一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116871269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310863926.2，技术领域涉及：B08B9/093；该发明授权一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备是由雷雨;陈海峰;肖世洪设计研发完成，并于2023-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备，方法包括：用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；所述清洗方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道，并使所述清洁剂从所述间隙中喷出。本发明的的方法和结构使对缝隙中的污渍的清理更加的方便。
本发明授权一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.真空镀膜设备，其特征在于，包括： 箱体，内部具有镀膜腔室； 隔板，与所述箱体连接，所述隔板设置在所述镀膜腔室内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板与所述底壁之间形成缝隙，所述隔板的内部还设有供清洁剂流动的若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通，所述隔板开设有凹槽，所述凹槽作为所述清洗通道的一部分，所述凹槽的底部开口为所述清洗出口，所述清洗出口与所述间隙通过所述缝隙连通。
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