冯·阿登纳资产股份有限公司K·施耐德获国家专利权
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龙图腾网获悉冯·阿登纳资产股份有限公司申请的专利磁体系统、溅射设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116130328B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211330782.6，技术领域涉及：H01J37/34；该发明授权磁体系统、溅射设备和方法是由K·施耐德;G·格罗斯;T·桑德;R·豪斯瓦尔德设计研发完成，并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁体系统、溅射设备和方法在说明书摘要公布了：涉及一种磁体系统、溅射设备和方法。根据各种实施方式，用于溅射设备300的磁体系统100可以包括：壳体406g，该壳体具有壳体内部空间406h；磁体载体102，该磁体载体设置在壳体内部空间406h中并且借助于壳体406g支撑，优选地以相对于壳体位置固定的方式支撑；除湿设备，该除湿设备邻接于壳体内部空间406h或设置在壳体内部空间406h中，用于干燥壳体内部空间406h。
本发明授权磁体系统、溅射设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于溅射设备300的磁体系统100，所述磁体系统100包括： ·管形壳体406g，所述管形壳体具有壳体内部空间406h； ·磁体载体102，所述磁体载体设置在所述壳体内部空间406h中并且借助于所述管形壳体406g以相对于所述管形壳体的位置固定的方式支撑； ·除湿设备，所述除湿设备邻接于所述壳体内部空间406h或设置在所述壳体内部空间中，用于对所述壳体内部空间406h进行除湿。
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