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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116109715B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111316982.1，技术领域涉及：G06T9/40；该发明授权一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法是由刘杰;姚文泽;赵浩杰;徐宏成;刘薇;侯程阳设计研发完成，并于2021-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法在说明书摘要公布了：本发明是一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法包括：S1归一化版图边界；S2判定每个四叉树网格区域的划分层级；S3版图图案边界对四叉树网格进行剪切；S4邻近效应矫正剂量映射入非均匀四叉树网格；S5将四叉树网格与曝光剂量存入文件。本发明采用了非均匀四叉树网格压缩方法，最大特点是在版图边缘部分网格划分相对密集，在版图的内部网格划分相对稀疏，这种压缩方法完全符合电子束邻近效应矫正的剂量特性，将电子束邻近效应矫正后的剂量映射至该网格，能够极大降低网格数量，从而提高曝光效率。

本发明授权一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法在权利要求书中公布了：1.一种电子束光刻邻近效应矫正版图压缩方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1，归一化版图边界，其特征在于：确定曝光版图的矩形边界位置坐标，并在矩形边界的四边分别向外扩展一定距离D，扩展后的矩形网格确定四叉树网格的边界，然后将四叉树网格内的尺寸归一化，构成1.0×1.0浮点数四叉树网格边界，该网格定义为根网格，层级为0； 步骤S2，判定每个四叉树网格区域的划分层级，其特征在于：确定四叉树网格的最大Lmax和最小Lmin的划分层级，进行非均匀四叉树网格划分，当光刻版图图案边界直线段与当前四叉树网格任意一条边存在相交或重叠关系时，直接进行当前网格的四叉树划分，若光刻版图图案边界为曲线段，则近似为多段直线段； 当满足与不同时为0，与不同时为0时，即： 则判定版图中的直线段与四叉树网格的边界线段相交，式中×代表向量叉乘； 将两个线段的四个端点按大小顺序排列，先比较横坐标，横坐标大的点更大，横坐标相同，纵坐标大的点更大，按照大小顺序得到线段AB、CD，即： 则判定版图中的直线段与四叉树网格的边界线段重叠； 当前网格的四叉树划分方法，即：取当前矩形网格Ml条边的中点Sm，将对边的中点相连，两条交线与Ml四条边构成了四个等大小的子网格Ml+1，新划分的四个子网格Ml+1替代当前的矩形网格Ml，然后以每个子网格Ml+1为当前网格，继续执行四叉树网格划分，每个网格的最小划分层数为Lmin，最大划分层数为Lmax； 步骤S3，版图图案边界对四叉树网格进行剪切，其特征在于：将版图的四叉树网格划分完成后，以原版图图案的边线段为边界，对整个四叉树网格进行边界剪切，保留图案边界连通域内部的剩余网格，即：图案边界区域被切割后的网格重新按照多边形顶点首尾连接成新的多边形网格，图案连通域内部未被切割的网格保留，图案连通域外部未被切割的网格直接抛弃，然后将网格的尺寸进行去归一化操作，得到版图最终的非均匀四叉树网格Wi，其中i＝1,2…n，n为非均匀四叉树网格的总个数，初始化对应的电子束曝光剂量Di为0； 步骤S4，邻近效应矫正剂量映射入非均匀四叉树网格，其特征在于：对电子束光刻矩形版图进行等间隔均匀网格划分，将版图划分为m×n个网格，每个网格为一个像素pi，对应的剂量为di，并使用电子束邻近效应剂量矫正方法得到每个像素点的曝光剂量，对矫正后的每个像素内曝光剂量di映射到对应的某个非均匀四叉树网格的区域Wi，其方法为：取每个像素值中心对应的坐标位置pi，遍历整个非均匀四叉树网格，判定pi在其中的某个非均匀四叉树网格Wi区域内部，并将曝光剂量Di更新为： 式中，k为每个非均匀四叉树网格Wi内包含的等间隔均匀网格的个数； 步骤S5，将四叉树网格与曝光剂量存入文件。

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