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龙图腾网获悉苏州汇富弘自动化科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆片双面电镀挂具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116043312B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211700816.6，技术领域涉及：C25D17/08；该发明授权一种半导体晶圆片双面电镀挂具是由余丞宏设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆片双面电镀挂具在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体晶圆片双面电镀挂具，其包括A面挂具本体和B面挂具本体，A面挂具本体和B面挂具本体上均设置有导电机构和通气机构，A面挂具本体的外侧和B面挂具本体的外侧均设置有可拆卸的环形导电上盖，A面挂具本体和B面挂具本体上分别设置有用于将导电上盖与对应的A面挂具本体或B面挂具本体连接在一起的快锁机构，A面挂具本体与对应的导电上盖之间设置有晶圆底板，B面挂具本体与对应的导电上盖之间设置有晶圆底板，待电镀的半导体晶圆片被固定在晶圆底板与对应的导电上盖之间，导电机构与导电上盖和待电镀的半导体晶圆片电路导通，通气机构与快锁机构气体导通。本发明可以实现挂具的导电上盖与挂具本体的快速合盖与开盖。

本发明授权一种半导体晶圆片双面电镀挂具在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆片双面电镀挂具，包括A面挂具本体和B面挂具本体，所述A面挂具本体与B面挂具本体贴合在一起，其特征在于，所述A面挂具本体和B面挂具本体均采用非导电材料制作，所述A面挂具本体和B面挂具本体上均设置有导电机构和通气机构，所述A面挂具本体的外侧和B面挂具本体的外侧均设置有可拆卸的环形的导电上盖，所述A面挂具本体和B面挂具本体上分别设置有用于将导电上盖与对应的A面挂具本体或B面挂具本体连接在一起的快锁机构，所述A面挂具本体与对应的导电上盖之间设置有晶圆底板，所述B面挂具本体与对应的导电上盖之间设置有晶圆底板，待电镀的半导体晶圆片被固定在晶圆底板与对应的导电上盖之间，所述导电机构与导电上盖和待电镀的半导体晶圆片电路导通，所述通气机构与快锁机构气体导通； 所述通气机构包括设置在所述A面挂具本体和B面挂具本体上的通气口，所述A面挂具本体的内侧和B面挂具本体的内侧均设置有开锁气路，所述通气口一端与外部大气连通、另一端与开锁气路连通，所述开锁气路与快锁机构气体导通； 所述导电上盖包括环形的上盖导电底板，所述上盖导电底板上设置有多个上盖定位销和上盖导电避让孔，所述多个上盖定位销成环形分布在上盖导电底板上，所述上盖定位销的中部外周面上径向设置有定位销凹槽，所述定位销凹槽环绕上盖定位销一周； 所述快锁机构包括快锁机构桶身，快锁机构桶身的底部设置有快锁机构底座，A面挂具本体之快锁机构底座安装于B面挂具本体的外侧，B面挂具本体之快锁机构底座安装于A面挂具本体的外侧，快锁机构桶身的内部设置有柱状内芯，内芯的顶部设置有销钉孔，内芯的下部设置有径向凸出的凸台，内芯的上部套设有环状的锁付滑动块，快锁机构桶身的上方固定有中间开孔的上封盖，所述上盖导电底板上的上盖定位销可以经过上封盖的中间开孔进入所述销钉孔，快锁机构桶身上设置有多个开锁气孔，所述多个开锁气孔分别与开锁气路连通，开锁气孔位于锁付滑动块下方，所述快锁机构桶身、内芯、锁付滑动块和上封盖相互之间安装有多个气密密封圈，锁付滑动块的底部有多个支撑弹簧，所述支撑弹簧位于锁付滑动块与凸台之间，锁付滑动块的内孔的顶部为锥形孔，锥形孔的上端孔径大于锥形孔的下端孔径，上封盖与锁付滑动块的锥形孔之间形成一环形钢珠活动槽，钢珠活动槽为一腔体，环绕着所述腔体内安装有多个锁付钢珠，上封盖的底部靠近中间开孔处为钢珠挡边，钢珠挡边与中间开孔的相接处凸出于上封盖的底面，所述多个锁付钢珠被限位在上封盖的底部与钢珠挡边和锁付滑动块的锥形孔孔壁之间的空间内，在正常通大气的情况下因支撑弹簧的支撑力锁付滑动块处于上限位即锁付滑动块处于最高位置处，锁付钢珠被锥形孔孔壁和钢珠挡边顶到上盖定位销上的定位销凹槽内，此时将导电上盖扣紧在A面挂具本体或B面挂具本体上，透过对联通到开锁气孔的通气口进行抽真空、在负压作用下将锁付滑动块往下拉动到下限位即锁付滑动块的最低位置处，此时钢珠活动槽之腔体空间加大，锁付滑动块向下移动同时将上盖定位销向上拉出的过程中锁付钢珠被推送到腔体内侧，锁付钢珠脱离上盖定位销上的定位销凹槽，上盖定位销向上可以拔出销钉孔使导电上盖与A面挂具本体或B面挂具本体脱离。

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