株式会社斯库林集团田原香奈获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115868010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180047244.3，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权衬底处理方法及衬底处理装置是由田原香奈设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法及衬底处理装置在说明书摘要公布了：衬底处理方法包括：处理膜形成工序，向衬底的表面供给处理液，使前述衬底的表面上的处理液固化或硬化，由此在前述衬底的表面形成处理膜；光照射工序，向前述处理膜照射光，使前述处理膜在前述衬底的表面上分裂；和处理膜除去工序，其在前述光照射工序后向前述衬底的表面供给处理膜除去液，利用前述处理膜除去液将前述分裂后的前述处理膜从前述衬底的表面除去。
本发明授权衬底处理方法及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.衬底处理方法，其包括： 处理膜形成工序，向衬底的表面供给处理液，使所述衬底的表面上的处理液固化或硬化，由此在所述衬底的表面形成处理膜； 光照射工序，向所述处理膜照射光，使所述处理膜在所述衬底的表面上分裂；和 处理膜除去工序，在所述光照射工序后向所述衬底的表面供给处理膜除去液，利用所述处理膜除去液将所述分裂后的所述处理膜从所述衬底的表面除去， 其中，所述处理膜含有第1聚合物，所述第1聚合物具有：固体状态的主链；和与所述主链键合并以通过光的照射而液化的方式构成的侧链， 所述光照射工序包括通过使所述第1聚合物的侧链液化而使所述处理膜分裂的工序。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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