株式会社斯库林集团冲田有史获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利用于基板处理监视的设定信息的设定方法、基板处理装置的监视方法以及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115769344B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180043923.3，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权用于基板处理监视的设定信息的设定方法、基板处理装置的监视方法以及基板处理装置是由冲田有史;犹原英司;角间央章;增井达哉;出羽裕一设计研发完成，并于2021-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于基板处理监视的设定信息的设定方法、基板处理装置的监视方法以及基板处理装置在说明书摘要公布了：一种用于基板处理监视的设定信息的设定方法，具备：设置制程工序S12，对使基板处理装置内的第一监视对象物移动的移动机构进行控制，使所述第一监视对象物移动至第一停止位置；设置拍摄工序，与设置制程工序S12并行地执行，并由照相机对第一监视对象物进行拍摄；以及设定工序S16，基于在设置拍摄工序中由照相机取得并包含停止于第一停止位置的第一监视对象物的第一图像数据和表示第一监视对象物的至少一部分的第一参照图像数据，检测第一图像数据内的第一监视对象物的位置，并将该位置设定为与所述第一停止位置相关的适当位置。
本发明授权用于基板处理监视的设定信息的设定方法、基板处理装置的监视方法以及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于基板处理监视的设定信息的设定方法，其特征在于，所述设定方法具备如下工序： 设置制程工序，控制使基板处理装置内的第一监视对象物移动的移动机构，使所述第一监视对象物移动至第一停止位置； 设置拍摄工序，与所述设置制程工序并行地执行，并由照相机对所述第一监视对象物进行拍摄；以及 设定工序，基于在所述设置拍摄工序中由所述照相机取得并包含停止于所述第一停止位置的所述第一监视对象物的第一图像数据和表示所述第一监视对象物的至少一部分的第一参照图像数据，检测所述第一图像数据内的所述第一监视对象物的位置，并将该位置设定为与所述第一停止位置相关的适当位置， 在所述设定工序中，基于控制信号被输出到所述移动机构的时刻和多个图像数据的取得时刻，确定在所述设置拍摄工序中由所述照相机依次取得的所述多个图像数据中的、包含停止于所述第一停止位置的所述第一监视对象物的所述第一图像数据。
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