格芯(美国)集成电路科技有限公司缪陈龙获国家专利权
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龙图腾网获悉格芯(美国)集成电路科技有限公司申请的专利利用工艺窗口细化缺陷检测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115684170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210712690.8，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权利用工艺窗口细化缺陷检测是由缪陈龙;尹海洲;M·J·沃伊托维茨设计研发完成，并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用工艺窗口细化缺陷检测在说明书摘要公布了：本申请涉及利用工艺窗口细化缺陷检测，执行光学检查，以检测集成电路装置内的潜在缺陷，以及对部分该潜在缺陷执行第一次基于电子的检查，以识别主要实际缺陷。识别用以制造该集成电路装置的制造参数设置的工艺窗口，且通过使用在该工艺窗口内的该制造参数设置制造的该集成电路装置具有小于阈值数目的该主要实际缺陷。为识别额外实际缺陷，执行第二次基于电子的检查，该检查限于通过使用在该工艺窗口内的该制造参数设置制造且在该第一次基于电子的检查中未被检查的该集成电路装置中的该潜在缺陷中的选定潜在缺陷。
本发明授权利用工艺窗口细化缺陷检测在权利要求书中公布了：1.一种用于检测集成电路的方法，其特征在于，包括： 执行光学检查，以检测集成电路装置内的潜在缺陷； 对部分该潜在缺陷执行第一次基于电子的检查，以识别主要实际缺陷； 识别包括用以制造该集成电路装置的制造参数的设置的工艺窗口，其中，通过使用在该工艺窗口内的制造参数设置制造的该集成电路装置具有小于阈值数目的该主要实际缺陷；以及 为识别额外实际缺陷，执行第二次基于电子的检查，该检查限于在该第一次基于电子的检查中未被检查的通过使用在该工艺窗口内的该制造参数设置制造的该集成电路装置中的该潜在缺陷中的选定潜在缺陷。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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