极光先进雷射株式会社熊崎贵仁获国家专利权
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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利窄带化气体激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115485625B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080099387.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权窄带化气体激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法是由熊崎贵仁;若林理设计研发完成，并于2020-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本窄带化气体激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：窄带化气体激光装置具有：致动器，其使脉冲激光的中心波长变化；以及处理器，其对致动器进行控制，处理器读入包含被照射到被照射物的1个部位的脉冲激光的照射脉冲数、最短波长和最长波长在内的参数，以使得在照射脉冲数为偶数的情况下和照射脉冲数为奇数的情况下如下的第1模式和第2模式中的至少一方不同的方式设定第1模式和第2模式，并以交替进行第1模式和第2模式的方式对致动器进行控制，第1模式是使中心波长以从最短波长向最长波长接近的方式变化的模式，第2模式是使中心波长以从最长波长向最短波长接近的方式变化的模式。
本发明授权窄带化气体激光装置、波长控制方法和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种窄带化气体激光装置，其具有： 致动器，其使脉冲激光的中心波长变化；以及 处理器，其对所述致动器进行控制，所述处理器读入包含被照射到被照射物的1个部位的脉冲激光的照射脉冲数、最短波长和最长波长在内的参数，以使得在所述照射脉冲数为偶数的情况下和所述照射脉冲数为奇数的情况下如下的第1模式和第2模式中的至少一方不同的方式设定所述第1模式和所述第2模式，并以交替进行所述第1模式和所述第2模式的方式对所述致动器进行控制，所述第1模式是使中心波长以从所述最短波长向所述最长波长接近的方式变化的模式，所述第2模式是使中心波长以从所述最长波长向所述最短波长接近的方式变化的模式， 在所述照射脉冲数为奇数的情况下，所述处理器以使得在所述第1模式和所述第2模式中的任意模式中，1个脉冲与前一个脉冲之间的波长变化量和其他多个脉冲各自与前一个脉冲之间的波长变化量不同的方式设定所述第1模式和所述第2模式中的任意模式。
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