细美事有限公司严基象获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472529B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210664924.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的装置是由严基象;李愉滥;姜钟和;朴崠云设计研发完成，并于2022-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于处理基板的装置。用于处理基板的该装置包括：腔室，其具有内部空间；支承单元，其被配置为将基板支承在内部空间中；气体供应管，其被配置为将气体供应到支承在支承单元上的基板上；气体排放管，其被配置为将气体从内部空间排放；和气体块，其连接到气体供应管和气体排放管并且设置在腔室的上方。
本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 腔室，所述腔室具有内部空间； 支承单元，所述支承单元被配置为在所述内部空间中支承所述基板； 气体供应管，所述气体供应管被配置为将气体供应到支承在所述支承单元上的所述基板； 气体排放管，所述气体排放管被配置为将气体从所述内部空间排放；以及 气体块，所述气体块连接至所述气体供应管和所述气体排放管，且所述气体块设置在所述腔室的上方， 其中，所述气体块包括： 供应空间，所述供应空间被配置成为从所述气体供应管供应的所述气体提供供应路径；以及 排放空间，所述排放空间被配置成为从所述气体排放管排放的所述气体提供排放路径， 其中，所述排放空间包括第一区域和第二区域，所述第二区域是相比所述第一区域更远离所述气体排放管连接到所述排放空间的位置的区域，并且 所述气体块具有排放通道，所述第一区域通过所述排放通道与所述第二区域处于流体连通， 其中，当从上方观察时，所述排放通道设置为使得所述排放通道的至少一部分与所述供应空间重叠， 其中，所述排放空间的上端被限定为高于所述供应空间的上端，并且 当从前面观察时，所述排放通道被限定在所述供应空间的上端的上方。
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