成都国泰真空设备有限公司卢成获国家专利权
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龙图腾网获悉成都国泰真空设备有限公司申请的专利一种射频离子源中和器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472479B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211005134.3，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权一种射频离子源中和器是由卢成;王伟;张勇军;张志强设计研发完成，并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种射频离子源中和器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频离子源中和器，将保持电极下陷进入了陶瓷杯内部形成了良好的对发射电极电场，从而对电子有更好的抽出效率和对离子有更好的吸附效率，可提高电子抽出效率15%左右，包括保持电极1、发射电极3、陶瓷杯4、发射线圈5、绝缘充气头6、RF电源7、保持电极绝缘陶瓷8、接地壳体10，所述保持电极1下陷进入陶瓷杯4内部，在保持电极1下陷于陶瓷杯4内部部分的外周上套设在绝缘环2，在保持电极1下陷端的中部设置有保持电极中心小孔9。
本发明授权一种射频离子源中和器在权利要求书中公布了：1.一种射频离子源中和器，包括保持电极1、发射电极3、陶瓷杯4、发射线圈5、绝缘充气头6、RF电源7、保持电极绝缘陶瓷8、接地壳体10，其特征在于：所述保持电极1下陷进入陶瓷杯4内部，在保持电极1下陷于陶瓷杯4内部部分的外周上内凹形成一圈安装位用于套设绝缘环2，绝缘环2通过接地壳体10固定在陶瓷杯4的杯口处，在保持电极1下陷端的中部设置有保持电极中心小孔9。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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