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福建晶安光电有限公司刘增伟获国家专利权

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龙图腾网获悉福建晶安光电有限公司申请的专利一种蓝宝石衬底及其加工方法及发光二极管的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115377264B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210615193.6,技术领域涉及:H10H20/819;该发明授权一种蓝宝石衬底及其加工方法及发光二极管的制备方法是由刘增伟;张佳浩;李瑞评;曾柏翔设计研发完成,并于2022-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种蓝宝石衬底及其加工方法及发光二极管的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种蓝宝石衬底及其加工方法及发光二极管的制备方法,本发明的蓝宝石衬底加工方法将蓝宝石晶棒自垂直于A面的中心轴线A轴沿周向旋转90°,获得蓝宝石晶棒的M面,然后将M面粘贴固定至工作台上,沿垂直于M面的M轴方向切割蓝宝石晶棒,获得蓝宝石衬底。该方法沿M向切割蓝宝石晶棒,线切后能够获得几乎100%的同心圆面型的衬底,提高了衬底的面型一致性及均匀性,有利于后续外延层的生长。另外,在蓝宝石晶棒的切割过程中,利用M面的解理特性,优化调整参数,降低切割难度,降低了线网消耗,相比于现有技术线网消耗减少了近5%~20%,同时节省了加工时间,相比于现有技术能够节省近5%~20%的加工时间。

本发明授权一种蓝宝石衬底及其加工方法及发光二极管的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种蓝宝石衬底加工方法,其特征在于,包括以下步骤: 提供一蓝宝石晶棒,对所述蓝宝石晶棒进行预处理,以垂直于所述蓝宝石晶棒的C面的C轴为准,旋转所述蓝宝石晶棒;确定所述蓝宝石晶棒的R向,并在所述蓝宝石晶棒上标识出所述R向;将所述蓝宝石晶棒沿所述R向固定,沿所述蓝宝石晶棒的圆周方向,在与所述R向间隔90°的位置处标记A面; 将所述蓝宝石晶棒自垂直于所述A面的中心轴线A轴沿周向旋转90°以获得所述蓝宝石晶棒的M面,并沿所述M面固定所述蓝宝石晶棒; 计算所述C面上不同段位的所述蓝宝石晶棒的R面的面积占整段切断面积的面积占比;根据每一个段位上所述R面的面积占比,调整所述蓝宝石晶棒的切割参数;沿垂直于所述M面的M轴方向切割所述蓝宝石晶棒,以获得蓝宝石衬底; 根据每一个段位上所述R面的面积,调整所述蓝宝石晶棒的切割参数具体包括: 计算所述R面相对所述M面的变软程度;根据当前段位上所述R面的面积占比与所述变软程度的乘积,获得切割机台进给量的调整幅度系数;根据所述调整幅度系数确定新的进给速度,其中新的进给速度=切割相同面积的M面时的进给速度+调整幅度系数*2。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人福建晶安光电有限公司,其通讯地址为:362411 福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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