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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利一种原位有线晶圆薄膜温度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115290214B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210786821.7，技术领域涉及：G01K13/00；该发明授权一种原位有线晶圆薄膜温度传感器是由夏子奂设计研发完成，并于2022-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种原位有线晶圆薄膜温度传感器在说明书摘要公布了：本发明提供一种原位晶圆薄膜温度传感器，用于测量晶圆片1的温度，其特征在于，至少包括薄膜温度传感器2、薄膜引线3以及引线，所述薄膜温度传感器2连接所述薄膜引线3，所述薄膜引线3连接所述引线，至少所述薄膜温度传感器2、薄膜引线3被设置在所述晶圆片1上。本发明提供的传感器整体贴合在晶圆上，固定牢靠，不会有现有晶圆测温传感器的引线晃动现象。

本发明授权一种原位有线晶圆薄膜温度传感器在权利要求书中公布了：1.一种原位晶圆薄膜温度传感器，用于测量晶圆片1的温度，其特征在于，至少包括薄膜温度传感器2、薄膜引线3、连接器4以及引线，所述薄膜温度传感器2连接所述薄膜引线3，所述薄膜引线3连接所述连接器4，所述连接器4连接所述引线，至少所述薄膜温度传感器2、薄膜引线3被设置在所述晶圆片1上的凹槽内，在所述晶圆片1和薄膜温度传感器2与薄膜引线3之间沉积一层绝缘层，用于所述晶圆片1和薄膜温度传感器2与薄膜引线3之间的电气绝缘，且至少在所述薄膜温度传感器2与薄膜引线3上方再沉积一层保护层；所述引线包括高温引线、低温引线以及接口，所述低温引线位于远离所述晶圆片1一侧，所述接口一端连接所述低温引线，另一端用于连接外部以传输温度信息；所述引线的一部分被设置在所述晶圆片1上的凹槽内，所述引线的另一端伸出所述晶圆片1；所述连接器包括细引线和保护胶，所述细引线至少用于连接所述薄膜引线3； 所述薄膜温度传感器2采用物理气相沉积或化学气相沉积在所述晶圆片上进行沉积操作形成，所述薄膜引线3为采用真空镀膜方式在所述晶圆片上沉积的金属导线；其中，制作薄膜温度传感器2和薄膜引线3使用光刻工艺或使用镂空掩膜版直接贴在晶圆片上进行真空镀膜； 至少所述凹槽的一部分覆盖有与所述晶圆片1同样材质的盖片；所述盖片的厚度比所述凹槽的深度小，所述盖片用高温胶固定后使所述晶圆片1表面保持平整。

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