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龙图腾网获悉郑州轨道交通信息技术研究院申请的专利一种晶圆开槽光路装置及其开槽隐切方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115255615B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211013325.4，技术领域涉及：B23K26/06；该发明授权一种晶圆开槽光路装置及其开槽隐切方法是由陈松涛;何在田;董和平;兑志魁;田耕设计研发完成，并于2022-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆开槽光路装置及其开槽隐切方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆切割的技术领域，尤其是一种晶圆开槽光路装置及其开槽隐切方法，包括双波长激光器、设置在双波长激光器正前方的第一扩束镜、倾斜设置在第一扩束镜前方的二向分光镜、设置在二向分光镜下方的红外光过滤光路、设置在红外光过滤光路下方的开槽光路、以及设置在二向分光镜前方的紫外光过滤光路、设置在紫外光过滤光路下方的隐切光路。本发明在使用的时候，在开槽的时候，关闭第一光闸，打开第二光闸，在隐切的时候，打开第一光闸，关闭第二光闸，通过第一光闸和第二光闸，将开槽和隐切结合在一台装置上，提高了加工效率，降低了加工成本。

本发明授权一种晶圆开槽光路装置及其开槽隐切方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆开槽光路装置，其特征在于：包括双波长激光器、设置在双波长激光器正前方的第一扩束镜、倾斜设置在第一扩束镜前方的二向分光镜、设置在二向分光镜下方的红外光过滤光路、设置在红外光过滤光路下方的开槽光路、以及设置在二向分光镜前方的紫外光过滤光路、设置在紫外光过滤光路下方的隐切光路；所述的红外光过滤光路包括依次设置在二向分光镜下方的紫外滤光镜、第二光闸以及第一12波片，所述的开槽光路包括设置在第一12波片正下方的分光棱镜、依次设置在分光棱镜正下方的第三12波片、第二分束镜、45°偏振分光镜和第二聚焦镜、倾斜设置在分光棱镜后方的第一反射镜、依次设置在第一反射镜正下方的第二12波片、第一分束镜和第一聚焦镜；所述的紫外光过滤光路包括依次设置在二向分光镜前方的红外滤光镜和第一光闸，所述的隐切光路包括倾斜设置在第一光闸前方的第二反射镜、设置在第二反射镜下方的第四12波片、倾斜设置在第四12波片下方的第三反射镜，以及设置在第三反射镜和45°偏振分光镜之间的第二扩束镜。

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