极光先进雷射株式会社三木正晴获国家专利权
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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利激光腔和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114843868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210491037.3，技术领域涉及：H01S3/03；该发明授权激光腔和电子器件的制造方法是由三木正晴设计研发完成，并于2018-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光腔和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供激光腔和电子器件的制造方法。准分子激光装置的激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及环状的密封部件，其被配置于所述第1部件与所述第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成，所述膜的厚度形成为，在远离所述2个密封面的位置处较厚，在接近所述2个密封面的位置处较薄。
本发明授权激光腔和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种准分子激光装置的激光腔，其中，所述激光腔具有： 容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及 环状的密封部件，其被配置于所述第1部件与所述第2部件的对置的2个密封面之间， 所述密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成， 所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成， 所述膜的厚度形成为，在远离所述2个密封面的位置处较厚，在接近所述2个密封面的位置处较薄， 所述膜未形成在所述密封部件的与所述2个密封面相接的表面。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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