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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种二次谐波测量方法及测量仪器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114813662B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110123995.0，技术领域涉及：G01N21/63；该发明授权一种二次谐波测量方法及测量仪器是由赵泓达;李博;王磊;王然;张紫辰;张昆鹏;滕瑞;刘海南;赵发展设计研发完成，并于2021-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二次谐波测量方法及测量仪器在说明书摘要公布了：本申请公开一种二次谐波测量方法及测量仪器，方法包括：获取入射激光束以第一入射角度照射在待测样品上形成的第一光斑面积；根据所述第一光斑面积和第一光学参数，获取标准光学功率密度；获取所述入射激光束以第二入射角度照射在所述待测样品上形成的第二光斑面积；根据所述标准光学功率密度和所述第二光斑面积，获取目标光学参数；获取在所述第二入射角度和所述目标光学参数条件下的单位光斑面积二次谐波强度。可以提高测试精度，减小测试误差。

本发明授权一种二次谐波测量方法及测量仪器在权利要求书中公布了：1.一种二次谐波测量方法，其特征在于，包括： 获取入射激光束以第一入射角度照射在待测样品上形成的第一光斑面积； 根据所述第一光斑面积和第一光学参数，获取标准光学功率密度； 获取所述入射激光束以第二入射角度照射在所述待测样品上形成的第二光斑面积； 根据所述标准光学功率密度和所述第二光斑面积，获取目标光学参数； 获取在所述第二入射角度和所述目标光学参数条件下的单位光斑面积二次谐波强度； 所述第一光学参数包括第一透振方向夹角，所述第一透振方向夹角为可调偏振单元的第一透振方向与起偏单元的透振方向所形成的夹角； 所述根据所述第一光斑面积和第一光学参数，获取标准光学功率密度的步骤，包括： 获取所述第一透振方向夹角和所述入射激光束的初始光学功率； 按照下式计算所述标准光学功率密度： 其中，为所述第一透振方向夹角，为所述初始光学功率，为所述第一光斑面积； 所述目标光学参数包括目标透振方向夹角，所述目标透振方向夹角为可调偏振单元的第二透振方向与起偏单元的透振方向所形成的夹角； 所述根据所述标准光学功率密度和所述第二光斑面积，获取目标光学参数的步骤，包括： 根据所述标准光学功率密度和所述第二光斑面积，按照下式计算所述目标透振方向夹角： 其中，为所述入射激光束的初始光学功率，为所述第二光斑面积，为所述标准光学功率密度。

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