上海华力微电子有限公司刘欣欣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利一种晶圆生产线智能获取派工WPH的控制系统和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114444948B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210108131.6,技术领域涉及:G06Q10/0631;该发明授权一种晶圆生产线智能获取派工WPH的控制系统和方法是由刘欣欣;张峰;何瑜;刘少贵;程杰设计研发完成,并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆生产线智能获取派工WPH的控制系统和方法在说明书摘要公布了:一种晶圆生产线智能获取派工WPH的控制系统,包括:同步模块,按派工预处理程序要求同步设备每小时作业晶圆的生产产能峰值PWPH,以自动获取标准基础数据;智能化获取自动派工每小时作业晶圆的生产产能WPH模块,以自动获取的设备每小时作业晶圆的生产产能峰值PWPH为基础数据,智能化获取自动派工每小时作业晶圆的生产产能WPH;应用模块,对终版自动派工每小时作业晶圆的生产产能WPH以可视化界面形式展现,并应用在智能派工Q‑time模型中,用以计算下游产能,并根据计算结果判定Q‑time起始站点是否放货。本发明不仅可精确管控自动派工,减少人为干预,而且降低产品品质风险,值得业界推广使用。
本发明授权一种晶圆生产线智能获取派工WPH的控制系统和方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆生产线智能获取派工WPH的控制系统,其特征在于,所述晶圆生产线智能获取派工WPH的控制系统,包括: 同步模块,按派工预处理程序要求,从制造执行系统服务器同步设备每小时作业晶圆的生产产能峰值PeakWaferPerHour,PWPH到派工预处理程序所在制造部服务器,用以自动获取标准基础数据; 智能化获取自动派工每小时作业晶圆的生产产能WPH模块,以自动获取的设备每小时作业晶圆的生产产能峰值PWPH为基础数据,智能化获取自动派工每小时作业晶圆的生产产能WPH,自动派工每小时作业晶圆的生产产能WPH为:自动派工WPH=每小时作业晶圆生产产能峰值PWPH×Ratio,并进一步包括由控制模块进行控制的预处理模块、计算模块,以及输出模块;其中,所述预处理模块用于筛选设备有效综合效率OverallEquipmentEffectiveness,OEE,筛选有效流程Flow,筛选涉及Q-time的生产能力对应道次比值Mi并加权平均道次比值C,对应的: 道次比值Mi为则C为 应用模块,对终版自动派工每小时作业晶圆的生产产能WPH以可视化界面形式展现,并应用在智能派工Q-time模型中,用以计算下游产能,并根据计算结果判定Q-time起始站点是否放货。
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