细美事有限公司金大城获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利处理容器和液体处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114334714B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111150835.1,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权处理容器和液体处理装置是由金大城;卢尚垠;张镐镇;朴在训设计研发完成,并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理容器和液体处理装置在说明书摘要公布了:本发明构思提供了一种基板处理装置。所述基板处理装置包括:处理容器,所述处理容器包括外杯和放置在所述外杯内侧的内杯,所述内杯和所述外杯组合限定用于回收液体的回收路径;放置在所述处理容器内的可旋转旋转头,在所述旋转头上放置清洗夹具;其中所述处理容器包括从所述外杯的内表面突出的第一突出部,以将从所述清洗夹具散落的清洗液引向所述内杯的表面。
本发明授权处理容器和液体处理装置在权利要求书中公布了:1.一种液体处理装置,其包括: 处理容器,所述处理容器包括外杯和放置在所述外杯内侧的内杯,所述内杯和所述外杯组合限定用于回收液体的回收路径; 放置在所述处理容器内的可旋转旋转头,在所述旋转头上放置清洗夹具; 其中,所述处理容器包括从所述外杯的内表面突出的第一突出部,以将从所述清洗夹具散落的清洗液引向所述内杯的表面, 其中所述外杯包括: 底壁,所述底壁设置为具有开口的圆板的形式; 竖直壁,所述竖直壁从所述底壁的侧端垂直向上延伸; 倾斜壁,所述倾斜壁从所述竖直壁的顶部向内且向上倾斜;以及 第二突出部,所述第二突出部从所述倾斜壁的所述内表面向所述内杯突出,并与更靠近所述内侧的所述第一突出部分开放置, 其中所述第一突出部设置在所述倾斜壁的内表面中, 其中所述第二突出部置于所述清洗夹具的边缘之外。
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