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芜湖芯通半导体材料有限公司赵浩获国家专利权

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龙图腾网获悉芜湖芯通半导体材料有限公司申请的专利一种PICP干刻下电氦漏检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112665803B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011582939.5,技术领域涉及:G01M3/26;该发明授权一种PICP干刻下电氦漏检测设备是由赵浩;金卫明;何新玉;朱传兵;强军设计研发完成,并于2020-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种PICP干刻下电氦漏检测设备在说明书摘要公布了:本发明提供一种应用于PICP干刻技术领域的PICP干刻下电氦漏检测设备,所述的PICP干刻下电氦漏检测设备的设备框架1上设置检测板定版3,起吊部件2的起吊部件上组件6包括带通孔的上吊具8,起吊部件下组件7包括设置在设备框架1上的固定座9,固定座9上设置杆件10,检测板定版2下部安装氦检抽气部件30,氦检抽气部件30与PICP下电20连通,氦检仪与检测板定版3连通,本发明的PICP干刻下电氦漏检测设备,能够方便快捷实现PICP下电的氦漏检测,有效完成PICP下电产品是否存在泄漏的判断,避免无法使用产品出厂情况出现。

本发明授权一种PICP干刻下电氦漏检测设备在权利要求书中公布了:1.一种PICP干刻下电氦漏检测设备,其特征在于:所述的PICP干刻下电氦漏检测设备包括设备框架1、起吊部件2、氦检仪,设备框架1上设置检测板定版3,检测板定版3上表面边沿设置凸起边4,凸起边4内圈设置密封圈5,起吊部件2包括起吊部件上组件6和起吊部件下组件7,起吊部件上组件6包括带通孔的上吊具8,起吊部件下组件7包括设置在设备框架1上的固定座9,固定座9上设置杆件10,检测板定版3下部安装氦检抽气部件30,氦检抽气部件30与PICP下电20连通,氦检仪与检测板定版3连通,PICP下电20设置为能够安装在检测板定版3上表面位置的结构; 所述的起吊部件上组件6的上吊具8包括多个,多个上吊具8沿PICP下电20侧面一周间隙布置,起吊部件下组件7设置为与起吊部件上组件6数量和位置一一对应的结构,起吊部件下组件7的杆件10垂直布置; 所述的检测板定版3下部设置开槽口23,冷却器塞板24位于开槽口23内,冷却器塞板24同时通过螺栓与PICP下电20固定连接; 所述的氦检抽气部件30包括高真空阀安装板11、变径管12、真空六通管13、多个高真空阀14、波纹管15; 所述的氦检抽气部件30还包括卡扣16、卡箍17、波纹管法兰头18和法兰盲盘; 所述的高真空阀安装板11安装在设备框架1上,卡箍17安装在高真空阀安装板11上,卡箍17用于固定真空六通管13,卡扣16连接真空六通管13和高真空阀14,波纹管15一端连接波纹管法兰头18,波纹管15另一端连接高真空阀14。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芜湖芯通半导体材料有限公司,其通讯地址为:241000 安徽省芜湖市长江大桥综合经济开发区标准化厂房6号402室-403室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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