杭州士兰微电子股份有限公司周延青获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州士兰微电子股份有限公司申请的专利MEMS麦克风及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111212369B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911426164.X，技术领域涉及：H04R19/00；该发明授权MEMS麦克风及其制造方法是由周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚设计研发完成，并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS麦克风及其制造方法在说明书摘要公布了：公开了一种MEMS麦克风及其制造方法。所述MEMS麦克风包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，所述膜片的第二表面与所述衬底的第一表面通过连接部点接触。本申请将膜片与衬底之间点接触，极大的释放了膜片的应力，提高了膜片机械响应的灵敏度。
本发明授权MEMS麦克风及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS麦克风，包括： 衬底； 位于所述衬底第一表面上的第一隔离层； 位于所述第一隔离层远离所述衬底的表面上的第二隔离层； 位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板电极，所述膜片与所述背极板电极彼此隔开，所述膜片的第一表面与所述背极板电极的第一表面彼此相对； 第一保护层和第二保护层，所述背极板电极位于所述第一保护层和所述第二保护层之间，所述第一保护层位于所述第二隔离层与所述背极板电极之间；以及 贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔， 其中，所述膜片的第二表面与所述衬底的第一表面通过连接部点接触； 还包括空腔，所述空腔暴露所述膜片的第一表面以及用于连接膜片第一表面和第二表面的侧面； 所述背极板电极位于所述膜片的可动区域上方，并且所述背极板电极的面积小于等于所述膜片的可动区域的面积。
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