江苏先导微电子科技有限公司杜浩然获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种真空磁传动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223666169U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422792073.0，技术领域涉及：H02K7/10；该实用新型一种真空磁传动机构是由杜浩然;姚毅;聂伟华设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空磁传动机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种真空磁传动机构，包括基座、电机、驱动轮、从动轮、第一磁钢、同步带、转轴、第二磁钢和波纹管；所述电机安装于所述基座，且输出轴连接有所述驱动轮，所述基座上设有安装凸台，所述从动轮套设在安装凸台，所述安装凸台沿轴向开设有沉槽，所述转轴的一端插设在所述沉槽内；所述从动轮的内壁同轴固定设有所述第一磁钢，所述转轴的外壁同轴固定设有所述第二磁钢，所述第一磁钢与所述第二磁钢位置对应且极性相反，所述波纹管套设在所述转轴外。本实用新型的有益效果：简化结构，缩减与真空腔体连接时的密封结构，降低制作成本，同时，传动机构与真空腔体之间的位置可调节。
本实用新型一种真空磁传动机构在权利要求书中公布了：1.一种真空磁传动机构，和真空腔体连接，用于带动基片台转动，所述真空腔体上开设有安装孔，其特征在于：包括基座、电机、驱动轮、从动轮、第一磁钢、同步带、转轴、第二磁钢和波纹管； 所述电机安装于所述基座，且输出轴连接有所述驱动轮，所述基座上设有安装凸台，所述从动轮套设在安装凸台，且与所述安装凸台转动连接，所述安装凸台沿轴向开设有沉槽，所述转轴的一端插设在所述沉槽内，且与所述沉槽转动连接，所述转轴的另一端贯穿所述安装孔且延伸至所述真空腔体内与所述基片台固定连接； 所述驱动轮与所述从动轮之间啮合有所述同步带，所述从动轮的内壁同轴固定设有所述第一磁钢，所述转轴的外壁同轴固定设有所述第二磁钢，所述第一磁钢与所述第二磁钢位置对应且极性相反，所述波纹管套设在所述转轴外，所述波纹管的一端与所述真空腔体朝向所述基座的端面连接，所述波纹管的另一端与所述安装凸台连接； 其中，所述沉槽、所述波纹管、所述真空腔体内部连通密封。
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