北京北方华创微电子装备有限公司马良获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种机械手、传输装置、传输腔室及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665425U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422611831.4，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种机械手、传输装置、传输腔室及半导体工艺设备是由马良;王炳元;方加瑜;丁朝鹏设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机械手、传输装置、传输腔室及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种机械手、传输装置、传输腔室及半导体工艺设备，机械手包括：第一手臂，包括第一端和第二端，第二端可绕第一端旋转；第二手臂，包括第三端和第四端，第二手臂通过第三端可旋转地与第二端连接，第四端设有手指，第二手臂的可转动角度范围大于第一手臂的可转动角度范围。本申请的机械手，第一手臂可绕第一端旋转，以带动第二手臂至目标位置，第二手臂绕第三端旋转，可以控制手指取放晶圆。由于第二手臂的可转动角度范围大于第一手臂的可转动角度范围，从而不需要导轨进行横向移动配合，就可以实现晶圆的传输，避免了导轨在传输过程中容易产生颗粒超标的风险。并且可以减少传输腔室原料，从而可以降低成本。
本实用新型一种机械手、传输装置、传输腔室及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种机械手，其特征在于，包括： 第一手臂，包括第一端和第二端，所述第二端可绕所述第一端旋转； 第二手臂，包括第三端和第四端，所述第二手臂通过所述第三端可旋转地与所述第二端连接，所述第四端设有手指，所述第二手臂的可转动角度范围大于所述第一手臂的可转动角度范围； 所述手指包括： 连接板； 支撑板，与所述连接板连接； 将所述连接板夹持在中间的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板远离所述支撑板的一端超出所述连接板，所述第一夹板远离所述支撑板的一端与所述第四端连接，并且所述第一夹板超出所述连接板的部分设置有调平孔； 所述调平孔用于连接顶丝，以对所述支撑板进行调平。
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