昇澜半导体(常州)有限公司马有草获国家专利权
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龙图腾网获悉昇澜半导体(常州)有限公司申请的专利一种PZT薄膜晶圆的高效冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665424U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520268603.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种PZT薄膜晶圆的高效冷却装置是由马有草;董超设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PZT薄膜晶圆的高效冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PZT薄膜晶圆的高效冷却装置，包括箱体，箱体的外部转动连接有箱门，箱体的内部固定连接有固定板，固定板的顶部转动连接有放置板，箱体的内部转动连接有转动轴，转动轴的外部套设有转动板，转动板与转动轴固定连接。该PZT薄膜晶圆的高效冷却装置，电机通过第二齿轮和第三齿轮带动转动轴以及转动轴上的转动板转动，使得转动板带动喷头绕着放置板转动，通过第一齿轮和外齿圈带动往复丝杆转动，往复丝杆带动滑块来回移动，滑块则通过滑槽和滑杆带动摆动板以及摆动板上的喷头来回摆动，固定轴通过第一锥齿轮和第二锥齿轮带动放置板转动，使得放置板上的晶圆能够受到多个方向冷气的冷却，从而提高冷却效率。
本实用新型一种PZT薄膜晶圆的高效冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种PZT薄膜晶圆的高效冷却装置，包括箱体1，所述箱体1的外部转动连接有箱门2，其特征在于：所述箱体1的内部固定连接有固定板3，所述固定板3的顶部转动连接有放置板4，所述箱体1的内部转动连接有转动轴5，所述转动轴5的外部套设有转动板6，所述转动板6与转动轴5固定连接，所述转动板6的外部套设有摆动板7，所述摆动板7与转动板6转动连接，所述摆动板7的内部固定连接有喷头8。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昇澜半导体(常州)有限公司，其通讯地址为：213164 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区西湖路1号众创服务中心A座四层415室24号工位；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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