联测优特半导体(烟台)有限公司陈曦获国家专利权
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龙图腾网获悉联测优特半导体(烟台)有限公司申请的专利一种Die Attach设备晶圆面吹气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665423U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520240938.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种Die Attach设备晶圆面吹气装置是由陈曦设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Die Attach设备晶圆面吹气装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及DieAttach设备相关技术领域，尤其涉及一种DieAttach设备晶圆面吹气装置，包括设备主体以及设在设备主体上的转动架，还包括：设在转动架上的滑道，滑道内滑动连接有滑动块：与滑动块滑动连接有延伸架，延伸架远离滑动块的一端上设有转动底座；通过转动件连接在转动底座上的气管，且转动底座上设有用于驱动转动件在转动底座上进行转动的驱动组件，通过在转动底座上设置可以转动并且用于固定安装气管的转动件以及驱动转动件进行转动的驱动组件，可以使得气管与晶圆表面之间进行多角度调节，在气泵的作用下，使得气管输出的气体具有合适力度的冲击力并作用到晶圆表面上，配合气管的倾斜角度，从而达到对杂质更好清除的目的。
本实用新型一种Die Attach设备晶圆面吹气装置在权利要求书中公布了：1.一种DieAttach设备晶圆面吹气装置，包括设备主体1以及设在设备主体1上的转动架2，其特征在于，还包括： 设在所述转动架2上的滑道3，所述滑道3内滑动连接有滑动块4： 与所述滑动块4滑动连接有延伸架5，所述延伸架5远离滑动块4的一端上设有转动底座6； 通过转动件连接在转动底座6上的气管7，所述气管7的输出端朝向设备主体1所在位置，且所述转动底座6上设有用于驱动转动件在转动底座6上进行转动的驱动组件； 具有伸缩功能的导管8，所述导管8的输出端与气管7的输入端相连接，所述导管8上设置有气泵9。
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