北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司王枫获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665418U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423073589.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种校准装置是由王枫;李军竹;王亿尧设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种校准装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种校准装置，用于校准激光退火设备的基座，主要包括：至少三个激光测距仪，激光测距仪设置在与基座的上方，至少三个激光测距仪处于同一水平高度且不共线，激光测距仪用于测量激光测距仪与基座之间的垂直距离；多个调节器，多个调节器设置于基座的边缘，调节器用于调节基座的水平度；以及控制器，控制器分别与激光测距仪和多个调节器电连接，控制器基于至少三个激光测距仪测量得到的至少三个垂直距离，控制多个调节器调节基座的水平度。本申请可以无论激光退火设备是否正在执行激光退火工艺，都能够基于激光测距仪对基座的水平度进行实时监控，通过调节器实时调整基座的水平度，可以减少基座水平度的调整时间，提高调整效率。
本实用新型一种校准装置在权利要求书中公布了：1.一种校准装置，用于校准激光退火设备的基座，其特征在于，包括： 至少三个激光测距仪，所述激光测距仪设置于所述基座的正上方，至少三个所述激光测距仪处于同一水平高度且不共线，所述激光测距仪用于测量所述激光测距仪与所述基座之间的垂直距离； 多个调节器，多个所述调节器设置于所述基座的边缘，所述调节器用于调节所述基座的水平度；以及 控制器，所述控制器分别与所述激光测距仪和多个所述调节器电连接，所述控制器基于至少三个所述激光测距仪测量得到的至少三个所述垂直距离，控制多个所述调节器调节所述基座的水平度。
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