北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司孟君俐获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利清洗工艺监控装置及沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665417U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423031426.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型清洗工艺监控装置及沉积设备是由孟君俐;邢长昕;凌杰;朱松冉设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗工艺监控装置及沉积设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种清洗工艺监控装置及沉积设备，主要包括：管路，管路用于供被监控气体通过；红外光源发射器，红外光源发射器设置在管路的一端，红外光源发射器用于发射红外光线，红外光线的波长包括第一波长和第二波长；双通道热释电探测器，双通道热释电探测器设置在管路的另一端，双通道热释电探测器被配置为基于穿过管路的第一波长的红外光线，生成第一电压；基于穿过管路的第二波长的红外光线，生成第二电压；根据第一电压和第二电压，确定被监控气体的实时浓度；控制器，控制器与双通道热释电探测器电连接，控制器被配置为在实时浓度小于预置浓度时，生成清洗工艺停止指令。本申请可以对干洗效果进行有效监测。
本实用新型清洗工艺监控装置及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗工艺监控装置，其特征在于，包括： 管路，所述管路用于供被监控气体通过； 红外光源发射器，所述红外光源发射器设置在所述管路的一端，所述红外光源发射器用于发射红外光线，所述红外光线的波长包括第一波长和第二波长； 双通道热释电探测器，所述双通道热释电探测器设置在所述管路的另一端，所述双通道热释电探测器被配置为基于穿过所述管路的所述第一波长的所述红外光线，生成第一电压；基于穿过所述管路的所述第二波长的所述红外光线，生成第二电压；根据所述第一电压和所述第二电压，确定所述被监控气体的实时浓度； 控制器，所述控制器与所述双通道热释电探测器电连接，所述控制器被配置为在所述实时浓度小于预置浓度时，生成清洗工艺停止指令。
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