天津中科晶禾电子科技有限责任公司李佳峰获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利一种腔室结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223665406U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423013041.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种腔室结构是由李佳峰;高智伟;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种腔室结构在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体材料加工设备技术领域，尤其涉及一种腔室结构，包括：腔室本体，所述腔室本体由若干壁板围合形成，其中之一所述壁板为第一壁板，所述第一壁板设有开口；绝缘平台，具有绝缘筒及设于绝缘筒两端的第一连接件和第二连接件，所述第一连接件密封连接于所述第一壁板开口的外围，使所述开口与所述绝缘平台内部连通；所述第二连接件将所述绝缘筒的端面封堵；所述第二连接件预设通孔，所述预设通孔作为外部导电件接入所述绝缘平台的通道；离子源，位于所述腔室本体中，所述离子源具有电连接端，所述电连接端连接于所述第二连接件；所述离子源与所述第一壁板不接触。所述腔室结构能够将高压电引入腔室本体，并且能防止高压击穿。
本实用新型一种腔室结构在权利要求书中公布了：1.一种腔室结构，其特征在于，包括：腔室本体，所述腔室本体由若干壁板围合形成，其中之一所述壁板为第一壁板，所述第一壁板设有开口； 绝缘平台，具有绝缘筒及设于绝缘筒两端的第一连接件和第二连接件，所述第一连接件密封连接于所述第一壁板开口的外围，使所述开口与所述绝缘平台内部连通； 所述第二连接件将所述绝缘筒的端面封堵； 所述第二连接件预设通孔，所述预设通孔作为外部导电件接入所述绝缘平台的通道； 离子源，位于所述腔室本体中，所述离子源具有电连接端，所述电连接端连接于所述第二连接件； 所述离子源与所述第一壁板不接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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