江苏汉可智能装备有限公司刘峰学获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏汉可智能装备有限公司申请的专利一种压针驱动装置及衬底固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120945335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511475962.7，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种压针驱动装置及衬底固定装置是由刘峰学;黄海宾设计研发完成，并于2025-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压针驱动装置及衬底固定装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种压针驱动装置及衬底固定装置，应用于半导体制造设备领域。衬底固定装置包括压针驱动装置和压针。压针驱动装置包括第一温变弹簧、第二温变弹簧和转子。当温度处于低温区间时，第一温变弹簧的形变量大于第二温变弹簧的形变量，使得转子带动压针沿某一方向偏转；当温度处于高温区间时，第二温变弹簧的形变量大于第一温变弹簧的形变量，使得转子带动压针沿另一相反方向偏转。如此，提供了一种不依赖电磁铁、耐高温、抗蠕变的压针驱动结构。
本发明授权一种压针驱动装置及衬底固定装置在权利要求书中公布了：1.一种压针驱动装置，所述压针用于固定放置在载板上的衬底，其特征在于，所述压针驱动装置包括第一温变弹簧、第二温变弹簧和转子； 所述第一温变弹簧的自由端和所述第二温变弹簧的自由端均与所述转子连接，所述转子与所述压针连接；所述第一温变弹簧的固定端和所述第二温变弹簧的固定端位于所述转子的同一侧，所述压针位于所述转子的另一侧； 当温度处于低温区间时，所述第一温变弹簧的形变量大于所述第二温变弹簧的形变量，使得所述转子带动所述压针沿第一方向偏转；当温度处于高温区间时，所述第二温变弹簧的形变量大于所述第一温变弹簧的形变量，使得所述转子带动所述压针沿第二方向偏转；所述高温区间的下限温度不小于所述低温区间的上限温度，所述第二方向与所述第一方向相反。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏汉可智能装备有限公司，其通讯地址为：226000 江苏省南通市苏锡通科技产业园区海堡路6号中新智能制造产业园9号楼一层及二层西侧区域；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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