昆山市板明电子科技有限公司韩流获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉昆山市板明电子科技有限公司申请的专利一种适用于等离子体处理后干膜的退膜液及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120909081B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511431648.9，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种适用于等离子体处理后干膜的退膜液及其使用方法是由韩流;徐姗;路政伟设计研发完成，并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于等离子体处理后干膜的退膜液及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于等离子体处理后干膜的退膜液，其包括以下质量百分含量的组分：1‑3%无机碱、5‑20%有机碱、2‑6%有机溶剂、3.6‑6%复合渗透剂和余量的水；其中，复合渗透剂为2‑氨基‑2‑甲基‑1‑丙醇、含多胺基双子磺酸盐表面活性剂和含苯并咪唑基双子表面活性剂的组合物。本发明提供的退膜液解决了mSAP工艺中经等离子体处理后的高交联度干膜难以彻底去除，以及传统退膜液易导致后续闪蚀工艺出现残铜问题。本发明还提供了该退膜液的使用方法，该退膜液应用于干膜退膜时，采用直接浸泡的方式即可实现对干膜的溶解、去除。
本发明授权一种适用于等离子体处理后干膜的退膜液及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于等离子体处理后干膜的退膜液，其特征在于，包括以下质量百分含量的组分：1-3%无机碱、5-20%有机碱、2-6%有机溶剂、3.6-6%复合渗透剂和余量的水； 所述复合渗透剂为2-氨基-2-甲基-1-丙醇、含多胺基双子磺酸盐表面活性剂和含苯并咪唑基双子表面活性剂的组合物； 其中，2-氨基-2-甲基-1-丙醇质量百分含量为0.5-1%，含多胺基双子磺酸盐表面活性剂质量百分含量为2.1-3%，含苯并咪唑基双子表面活性剂的质量百分含量为1-2%； 所述含多胺基双子磺酸盐表面活性剂的结构式如式Ⅰ所示: 式Ⅰ为； 所述含苯并咪唑基双子表面活性剂的结构式如式Ⅱ所示: 式Ⅱ为； 所述有机碱包括四甲基胍、DBU中的至少一种。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昆山市板明电子科技有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路195号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励