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龙图腾网获悉南京信息工程大学申请的专利基于硅布拉格光栅F-P腔的力反馈式MEMS加速度计及制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120908476B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511440564.1，技术领域涉及：G01P15/08；该发明授权基于硅布拉格光栅F-P腔的力反馈式MEMS加速度计及制造方法是由李成;刘梦;陆强强;孙昊;郭鑫设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于硅布拉格光栅F-P腔的力反馈式MEMS加速度计及制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了基于硅布拉格光栅F‑P腔的力反馈式MEMS加速度计及制造方法，属于微电子机械系统技术领域。该力反馈式MEMS加速度计包括硅基F‑P腔MEMS敏感结构和玻璃电极基底，硅基F‑P腔MEMS敏感结构包括柔性梁、质量块、公共锚点、外围锚点、布拉格光栅F‑P敏感腔、信号传输光纤以及驱动梳齿；玻璃电极基底包括玻璃衬底和电极；硅基F‑P腔MEMS敏感结构将水平轴输入加速度转换为质量块的位移，导致一对反向布置F‑P敏感腔的腔隙发生反向漂移，引发F‑P腔干涉光信号的反相变换，实现加速度的高精度差分检测，该力反馈式MEMS加速度计具有灵敏度高、抗共模误差能力强、动态范围大、长期稳定性好的优点。

本发明授权基于硅布拉格光栅F-P腔的力反馈式MEMS加速度计及制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基于硅布拉格光栅F-P腔的力反馈式MEMS加速度计，其特征在于，包括硅基F-P腔MEMS敏感结构和玻璃电极基底，硅基F-P腔MEMS敏感结构通过锚点键合于玻璃电极基底； 硅基F-P腔MEMS敏感结构包括柔性梁、质量块、公共锚点、外围锚点、布拉格光栅F-P敏感腔、信号传输光纤以及驱动梳齿，其中柔性梁设置在质量块的两侧，质量块通过柔性梁连接至公共锚点，质量块与公共锚点之间存在缝隙，外围锚点分布在质量块以及公共锚点的外围，信号传输光纤连接布拉格光栅F-P敏感腔且均设置在质量块与公共锚点之间的缝隙内，驱动梳齿嵌入在质量块的中心位置； 玻璃电极基底包括玻璃衬底和电极，电极设置在玻璃衬底的表面； 布拉格光栅F-P敏感腔包括第一布拉格光栅F-P敏感腔和第二布拉格光栅F-P敏感腔，信号传输光纤包括第一信号传输光纤和第二信号传输光纤；第一布拉格光栅F-P敏感腔和第二布拉格光栅F-P敏感腔的结构相同，均包括检测光栅和固定光栅，检测光栅固定在质量块上，固定光栅固定在外围锚点上，质量块与外围锚点之间的间隙构成F-P腔的腔隙，信号传输光纤连接固定光栅； 当质量块产生位移时，第一布拉格光栅F-P敏感腔和第二布拉格光栅F-P敏感腔的腔隙发生反向偏移，进而输出光产生相反的相位偏移，通过光学差分检测推算出加速度计的加速度。

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