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洛阳晶联光电材料有限责任公司姚远获国家专利权

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龙图腾网获悉洛阳晶联光电材料有限责任公司申请的专利一种氧化锡基复合靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120903932B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511454123.7,技术领域涉及:C04B35/457;该发明授权一种氧化锡基复合靶材及其制备方法是由姚远;张启华;杜宝珩;张莉兰;王屹波;蒋一昌;李娜娜设计研发完成,并于2025-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种氧化锡基复合靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于靶材技术领域,具体涉及一种氧化锡基复合靶材及其制备方法。本发明提供的氧化锡基复合靶材包括氧化锡、掺杂氧化物和烧结助剂,掺杂氧化物为五氧化二锑、五氧化二钒、氧化镍和三氧化钨,烧结助剂为氧化镁和氧化钇。本发明采用五氧化二锑、五氧化二钒、氧化镍和三氧化钨作为掺杂氧化物,有效提升靶材的电学和光学性能;采用氧化镁和氧化钇作为烧结助剂,细化晶粒,提升靶材的致密度和力学性能;采用溶胶凝胶法实现部分元素的原子级混合,然后采用高能球磨法进行原子级掺杂,降低元素在基体中的分布偏差,采用放电等离子炉进行烧结,降低元素的挥发损失和靶材内部的气孔缺陷。

本发明授权一种氧化锡基复合靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化锡基复合靶材,其特征在于,包括氧化锡、掺杂氧化物和烧结助剂;所述掺杂氧化物包括五氧化二锑、五氧化二钒、氧化镍和三氧化钨;所述烧结助剂包括氧化镁和氧化钇;所述氧化锡中的锡元素与掺杂氧化物中金属元素物质的量之和的摩尔比为1:0.25-0.33;所述氧化锡与烧结助剂的摩尔比为1:0.03-0.06; 氧化锡基复合靶材的制备方法,包括以下步骤: S1:将四丁基锡和乙酰丙酮钒加入到乙醇水溶液中,搅拌均匀,加入硝酸镍,调节体系pH值至3.0-4.0,加入柠檬酸、乙二醇,升温至45-50℃,搅拌反应1.5-2h,50-60℃下干燥40-48h,然后在80-90℃下干燥12-15h,煅烧,冷却,研磨,加入五氧化二锑和三氧化钨,得到混合粉末I; S2:将步骤S1制得的混合粉末I与烧结助剂混合,加入三乙醇胺水溶液球磨24-30h,球磨浆料喷雾干燥,得到粉末II; S3:将步骤S2制得的粉体II在600-700℃下煅烧2h,冷却,喷入聚乙二醇进行造粒,烘干,然后放入模具中等静压成型,得到素坯; S4:将步骤S3制得的素坯放入放电等离子烧结炉中进行烧结,得到氧化锡基复合靶材。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人洛阳晶联光电材料有限责任公司,其通讯地址为:471100 河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号(洛阳市孟津县麻屯镇);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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