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江苏道达智能科技有限公司胡志宏获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏道达智能科技有限公司申请的专利一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120873217B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511404393.7,技术领域涉及:G06F16/51;该发明授权一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法是由胡志宏;李好;辛琳;付斌设计研发完成,并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法,涉及半导体检测与数据解析技术领域,包括构建多格式规则库,接收批量Klarf文件和对应缺陷图片文件夹,提取缺陷图片文件名中图片编号;读取Klarf文件预设数量Defect数据的字段名,与多格式规则库进行匹配,并采用自适应解析算法根据匹配结果选择解析策略;对解析后的Defect数据进行预处理,采用三层校验算法计算关联置信度,生成关联结果表。本发明实现了半导体缺陷检测数据处理的自动化、标准化和高可靠性。

本发明授权一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法在权利要求书中公布了:1.一种基于多格式解析的缺陷文件与图像编号关联方法,其特征在于:包括, 构建多格式规则库,接收批量Klarf文件和对应缺陷图片文件夹,提取所述缺陷图片文件名中图片编号; 读取Klarf文件预设数量Defect数据的字段名,与所述多格式规则库进行匹配,并采用自适应解析算法根据匹配结果选择解析策略; 对解析后的Defect数据进行预处理,采用三层校验算法计算关联置信度,生成关联结果表; 所述三层校验算法,包括: 执行第一层编号匹配校验,将标准化图片编号与图片编号数据库中存储的标准化图片编号进行字符串比较; 基于第一层校验通过的记录,执行第二层坐标偏差校验,计算标准化X坐标与图片拍摄X坐标的坐标偏差值以及标准化Y坐标与图片拍摄Y坐标的坐标偏差值,判断两个坐标偏差值是否均小于预设偏差阈值; 基于第二层校验通过的记录,执行第三层类型关联校验,根据缺陷类型代码查询预设缺陷类型与图片类型映射表,获取预期图片类型标识并与实际图片类型标识进行比较; 根据所述三层校验算法的校验结果计算关联置信度数值,包括: 若仅第一层校验结果为通过状态,则设置关联置信度数值为低置信度级别; 若仅第一层校验结果和第二层校验结果为通过状态,则设置关联置信度数值为中等置信度级别; 若三层校验结果均为通过状态,则设置关联置信度数值为高置信度级别; 若三层校验算法中有任一层未通过,则根据未通过的层级设置关联置信度数值为置信度级别,并标记该校验结果为未通过,进入异常处理流程; 采用自适应解析算法根据匹配结果选择解析策略,包括: 读取当前待处理文件的Defect数据段,定位到第一条Defect记录的起始位置,按照Klarf文件的标准结构逐行解析预设数量的Defect记录; 提取所述Defect记录中每条记录的字段名称和字段值,形成字段信息矩阵; 将所述字段信息矩阵中字段名称与多格式规则库进行多轮匹配比对,以识别不同设备类型所对应的图片编号字段,其中,第一轮匹配针对多格式规则库中KLA设备格式规则,检查是否存在与字段名Image_Num完全一致的字段; 根据匹配结果选择相应的解析策略,生成解析配置参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏道达智能科技有限公司,其通讯地址为:210000 江苏省南京市江宁区秣陵街道铺岗街388号3栋(江宁开发区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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