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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种远程等离子体源解离率检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120870033B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511403537.7，技术领域涉及：G01N21/3504；该发明授权一种远程等离子体源解离率检测方法是由潘小刚;束寅志;朱国俊;程康设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种远程等离子体源解离率检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种远程等离子体源解离率检测方法，包括：采集远程等离子体源的红外光谱数据；将多次采集的红外光谱数据输入预训练的离子体源离化鉴别模型，分别获取特征光谱峰值，并求取特征光谱峰值的平均值；在采集过程中，通过参数调控机制补偿环境干扰，使特征光谱峰值与剩余气体浓度成正相关关系；基于特征光谱峰值的平均值计算解离率。本发明通过对远程等离子体源解离率实时监测，并由参数调控机制对环境干扰进行调控，使特征光谱峰值与剩余气体浓度形成正相关关系，便于通过特征光谱峰值替换剩余气体浓度对解离率进行求解，保证了精度，适用于半导体工艺中多元素气体等离子体解离率检测的实时闭环控制。

本发明授权一种远程等离子体源解离率检测方法在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子体源解离率检测方法，其特征在于，包括： 采集远程等离子体源的红外光谱数据； 将多次采集的红外光谱数据输入预训练的离化鉴别模型，分别获取特征光谱峰值，并求取特征光谱峰值的平均值；在采集过程中，通过参数调控机制补偿环境干扰，使特征光谱峰值与剩余气体浓度成正相关关系；所述通过参数调控机制补偿环境干扰，包括： 建立关于工艺参数补偿特征光谱峰值的目标函数；目标函数，为当前时刻k特征光谱峰值的状态标定值，为当前时刻k离化鉴别模型输出特征光谱峰值的平均值；、、为当前时刻k气体压力、腔室温度、气体流量的采样值，、、为上一时刻k-1气体压力、腔室温度、气体流量的采样值，分别为对应的权值比重； 根据所述目标函数实时调节腔室温度、气体压力和气体流量，以使目标函数呈最小化； 基于特征光谱峰值的平均值计算解离率； 当前时刻特征光谱峰值的状态标定值根据确定，包括： 其中，为当前时刻k的累计采样时间，为上一时刻k-1的累计采样时间，为上一时刻k-1多次采集的红外光谱数据输入离化鉴别模型所输出特征光谱峰值的平均值；A为时变性频率因子，B为开关频率变化速率的影响因子； 所述根据所述目标函数实时调节腔室温度、气体压力和气体流量，以使目标函数呈最小化，包括： 当检测到腔室温度大于温度阈值时，调节远程等离子体源冷却水流量将腔体温度稳定在预设温度值； 根据和的关系，调节气体压力和气体流量；包括： 当时，不进行调节； 当时，缓慢降低气体压力P，缓慢上升气体流量； 当时，缓慢上升气体压力P，缓慢降低气体流量。

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