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龙图腾网获悉普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司申请的专利基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120868935B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511385596.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法及系统是由雷剑锋设计研发完成，并于2025-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体晶圆相关技术领域，具体包括基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法及系统，包括：获取晶圆表面反射光谱信号，提取光谱特征信息及波长参数；识别偏振特征参数、界面干涉特征参数，引入所述波长参数作为调节变量，确定波长依赖项，生成全域膜厚分布图谱，解决了在多层薄膜或界面粗糙的检测场景中，未充分考虑入射光偏振状态对反射信号的影响，反射信号特征提取失真，反射特性反推所得的膜厚与实际膜厚存在偏离的技术问题，识别偏振特征参数与界面干涉特征参数，修正薄膜折射率后确定各检测点厚度，有效提升了厚度检测的精度，降低了光谱信号噪声及界面干扰的影响，实现了对晶圆薄膜全域膜厚分布的准确呈现的技术效果。

本发明授权基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.基于光谱反射的全自动晶圆膜厚度检测方法，其特征在于，所述方法包括： 使用激光光源发出入射光至晶圆薄膜，同步获取晶圆表面反射光谱信号，提取光谱特征信息及波长参数； 基于所述入射光的偏振状态，结合所述波长参数，识别所述晶圆表面反射光谱信号中的偏振特征参数；基于所述晶圆薄膜的薄膜层间界面，结合所述光谱特征信息，识别所述晶圆表面反射光谱信号中的界面干涉特征参数； 基于所述晶圆表面反射光谱信号中的偏振特征参数、所述晶圆表面反射光谱信号中的界面干涉特征参数，引入所述波长参数作为调节变量，确定波长依赖项； 根据所述波长依赖项修正后的薄膜折射率，确定所述晶圆薄膜各个检测点的厚度值，生成全域膜厚分布图谱； 根据所述波长依赖项修正后的薄膜折射率，确定所述晶圆薄膜各个检测点的厚度值，所述方法还包括： 根据所述波长依赖项修正后的薄膜折射率，与光栅+棱镜组合下的分光构件对应的滤光片阵列进行联控分析，设置全波段光谱特征矩阵； 引入所述全波段光谱特征矩阵的匹配度，有且仅有，在所述匹配度达标且满足均方误差损失函数的收敛终止条件，使多模态去噪网络向全局最优解收敛。

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