上海派拉纶生物技术股份有限公司张岳获国家专利权
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龙图腾网获悉上海派拉纶生物技术股份有限公司申请的专利偶联剂的蒸发沉积装置、方法、偶联剂层及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120866772B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511404695.4,技术领域涉及:C23C14/12;该发明授权偶联剂的蒸发沉积装置、方法、偶联剂层及应用是由张岳;陈志争;杨玉衡;李冬梅;张金刚设计研发完成,并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本偶联剂的蒸发沉积装置、方法、偶联剂层及应用在说明书摘要公布了:本发明属于派瑞林材料领域,具体涉及偶联剂的蒸发沉积装置、方法、偶联剂层及应用。装置包括:偶联剂储存部,其设置偶联剂出口;偶联剂蒸汽发生部,其包括偶联剂汽化腔体,偶联剂汽化腔体外设置蒸汽发生器,偶联剂汽化腔体上设置偶联剂入口和偶联剂蒸汽出口,偶联剂入口与偶联剂出口相连通;真空沉积腔,其侧壁上间隔设置至少两个偶联剂蒸汽入口,偶联剂蒸汽入口与偶联剂蒸汽出口通过蒸汽管道相连通,蒸汽管道靠近偶联剂蒸汽入口的一侧设置至少两个分支蒸汽管道,至少两个分支蒸汽管道分别与至少两个偶联剂蒸汽入口一对一连通,分支蒸汽管道上设置阀门,蒸汽管道外包裹有保温层。用于偶联剂沉积时,能够提高偶联剂层与基体之间的结合力。
本发明授权偶联剂的蒸发沉积装置、方法、偶联剂层及应用在权利要求书中公布了:1.一种偶联剂的蒸发沉积装置,其特征在于,包括: 偶联剂储存部,其设置有偶联剂出口; 偶联剂蒸汽发生部,其包括偶联剂汽化腔体,所述偶联剂汽化腔体外设置有蒸汽发生器,所述偶联剂汽化腔体上设置有偶联剂入口和偶联剂蒸汽出口,所述偶联剂入口与所述偶联剂出口相连通;按照偶联剂的类型以及沉积面积按需将偶联剂从偶联剂储存部引入偶联剂汽化腔体; 真空沉积腔,其侧壁上间隔设置至少两个偶联剂蒸汽入口,所述偶联剂蒸汽入口与所述偶联剂蒸汽出口通过蒸汽管道相连通,所述蒸汽管道靠近所述偶联剂蒸汽入口的一侧设置至少两个分支蒸汽管道,至少两个分支蒸汽管道分别与至少两个偶联剂蒸汽入口一对一连通,所述分支蒸汽管道上设置阀门,所述蒸汽管道外包裹有保温层,所述真空沉积腔的侧壁上设置有抽气孔;蒸发沉积时,进行逐分支蒸汽管道打开阀门预设时间后关闭阀门的步骤。
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