长春光华微电子设备工程中心有限公司田玉鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉长春光华微电子设备工程中心有限公司申请的专利一种激光聚焦随动装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120839244B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511349228.6，技术领域涉及：B23K26/046；该发明授权一种激光聚焦随动装置是由田玉鑫;邢鹏展;马健;常丰吉;何艳;董子煜;王震;樊璐设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光聚焦随动装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体设备技术领域，提供了一种激光聚焦随动装置，包括：激光切割装置1，包括光源组件11以及第一调焦组件12，光源组件配置为将切割激光聚焦于待切割物体表面，第一调焦组件配置为对切割激光聚焦光斑的位置进行调节使其维持在待切割物体表面的预设范围内；测距组件2，用于实时检测沿切割方向距离切割激光聚焦光斑前方预设距离的待切割物体表面到第一调焦组件的高度；控制器3，与激光切割装置和测距组件连接，配置为接收测距组件的检测结果并根据检测结果控制第一调焦组件，使切割激光聚焦光斑的位置维持在预设范围内。本申请能够根据晶圆表面的状态实时调整光斑的位置。
本发明授权一种激光聚焦随动装置在权利要求书中公布了：1.一种激光聚焦随动装置，其特征在于，包括： 激光切割装置1，包括光源组件11以及第一调焦组件12，所述光源组件11配置为将切割激光聚焦于待切割物体表面，所述第一调焦组件12配置为对所述切割激光聚焦光斑的位置进行调节使其维持在所述待切割物体表面的预设范围内； 测距组件2，用于实时检测沿切割方向距离所述切割激光聚焦光斑前方预设距离的所述待切割物体表面到所述第一调焦组件12的高度； 控制器3，与所述激光切割装置1和测距组件2连接，配置为接收所述测距组件2的检测结果并根据所述检测结果控制所述第一调焦组件12，使所述切割激光聚焦光斑的位置维持在所述预设范围内； 所述预设距离L满足如下关系：L＝T1+T2*V；其中，T1为控制器接收检测结果以及根据检测结果进行计算的时间；T2为第一调焦组件执行调焦过程的执行时间，V为待切割物体的移动速度；所述预设范围为距离所述待切割物体表面±0.05mm。
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