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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利一种自动槽盖式热气烘干装置及半导体基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120824226B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511271460.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种自动槽盖式热气烘干装置及半导体基板处理设备是由徐鹏飞;侯丽丽;郭生钢;王强;耿彪设计研发完成，并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动槽盖式热气烘干装置及半导体基板处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体湿法制程设备技术领域，尤其是涉及一种自动槽盖式热气烘干装置及半导体基板处理设备。本发明提供的自动槽盖式热气烘干装置，用于半导体基板处理设备，自动槽盖式热气烘干装置包括：设置于干燥容器顶口处的自动开闭机构；自动开闭机构包括一对驱动组件和分别连接在一对驱动组件上的一对槽盖板，一对驱动组件通过驱动一对槽盖板对接以关闭顶口或分离以打开顶口；槽盖板的上侧设置有集成气体分配通道，槽盖板的下侧设置有气体出口，且气体出口穿过槽盖板连接于集成气体分配通道。自动开闭机构通过一对驱动组件分别驱动一对槽盖板实现关闭和打开顶口，结构简单，开关方便。

本发明授权一种自动槽盖式热气烘干装置及半导体基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种自动槽盖式热气烘干装置，用于半导体基板处理设备，其特征在于，所述自动槽盖式热气烘干装置包括：干燥容器2、用于将载具9升降至所述干燥容器2内的提升机构8和设置于所述干燥容器2顶口处的自动开闭机构3； 所述干燥容器2上设置有外槽盖板23，所述外槽盖板23开设有顶口和提升穿孔231，所述自动开闭机构3设置于所述顶口处，所述提升机构8穿设于所述提升穿孔231； 所述外槽盖板23的内侧设置有检测传感器232，且所述检测传感器232位于所述载具9的运动路径上，所述提升机构8、所述自动开闭机构3和所述检测传感器232均电连接于控制器，以使所述控制器根据所述自动开闭机构3的开闭状态和所述检测传感器232的信号反馈控制所述自动开闭机构3和所述提升机构8的工作状态； 其中，当所述自动开闭机构3处于关闭状态时且所述提升机构8执行上升动作，一旦所述检测传感器232被所述载具9遮挡并检测到有料，所述提升机构8将立即自动停止，当所述自动开闭机构3处于打开状态时，若所述载具9未移出所述检测传感器232检测范围，所述控制器将禁止执行关闭所述自动开闭机构3操作，仅当所述提升机构8下降移出所述检测传感器232检测范围或移除所述载具9后，方可解除锁定状态并允许关闭所述自动开闭机构3操作； 所述自动开闭机构3包括一对驱动组件和分别连接在一对所述驱动组件上的一对槽盖板31，一对所述驱动组件通过驱动一对所述槽盖板31对接以关闭所述顶口或分离以打开所述顶口； 所述槽盖板31的上侧设置有集成气体分配通道311，所述槽盖板31的下侧设置有气体出口312，且所述气体出口312穿过所述槽盖板31连接于所述集成气体分配通道311； 所述驱动组件包括气缸321和直线导轨331； 所述气缸321和所述直线导轨331均连接于所述槽盖板31，且所述气缸321用于驱动所述槽盖板31运动，所述直线导轨331用于所述槽盖板31运动导向。

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