买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉季华实验室申请的专利晶圆精确定位方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120809652B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511305778.8，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆精确定位方法、装置、电子设备及存储介质是由罗卓军;毕海;李磊;汪伟;张海裕设计研发完成，并于2025-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆精确定位方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请属于晶圆定位的技术领域，公开了一种晶圆精确定位方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：采用高倍率物镜的螺旋式采集方法，获取目标晶圆中不同位置的视点图像，每获取一个视点图像，对已获取的视点图像进行图像拼接，并通过模板匹配方法，对拼接后的视点图像进行标记点定位，得到至少两个包含有预设标记点的拼接图像，根据预设标记点的位置坐标，计算角度偏移量，以进行角度校正，然后计算角度校正后的晶圆的位置偏移量，得到精确定位的目标晶圆。本申请利用高倍率物镜的高分辨率特性提高定位精度，利用螺旋式多视点图像采集方法扩大预设标记点搜索的视场范围，无需切换物镜，有利于简化视觉成像系统硬件，降低定位装置硬件成本。

本发明授权晶圆精确定位方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆精确定位方法，用于对晶圆进行定位，其特征在于，包括步骤： 采用高倍率物镜的螺旋式采集方法，依次获取目标晶圆中不同位置的视点图像；所述目标晶圆中设置有多个用于定位的预设标记点； 每获取一个视点图像，则对已获取的视点图像按九宫格的拼接形式进行图像拼接，并通过模板匹配方法，对拼接后的视点图像进行标记点定位，得到至少两个包含有所述预设标记点的拼接图像； 根据所述拼接图像中所述预设标记点的位置坐标，计算得到所述目标晶圆的角度偏移量； 基于所述角度偏移量，对所述目标晶圆进行角度校正，并计算角度校正后的目标晶圆的位置偏移量，得到精确定位的目标晶圆； 采用高倍率物镜的螺旋式采集方法，依次获取目标晶圆中不同位置的视点图像，包括： 将高倍率物镜移动到目标晶圆中任一预设标记点对应的理想位置； 采用螺旋式采集方法，按照预设的移动步长，控制所述高倍率物镜进行移动的同时，利用所述高倍率物镜依次对所述目标晶圆进行拍摄，以获取得到所述目标晶圆中不同位置的视点图像； 每获取一个视点图像，则对已获取的视点图像按九宫格的拼接形式进行图像拼接，并通过模板匹配方法，对拼接后的视点图像进行标记点定位，得到至少两个包含有所述预设标记点的拼接图像，包括： 每获取一个视点图像，则按照九宫格的拼接形式，以当前获取的视点图像为中心，将相邻的已获取视点图像进行图像拼接，得到拼接后的视点图像； 通过模板匹配方法，将每次拼接后的视点图像与预设的标记点模板图像进行标记点匹配，以检测每次拼接后的视点图像中是否存在与所述预设的标记点模板图像相同的任一所述预设标记点； 当检测到当前拼接后的视点图像存在与所述预设的标记点模板图像相同的任一所述预设标记点时，确定当前拼接后的视点图像为包含有所述预设标记点的拼接图像，并结束当前预设标记点的搜索，将所述高倍率物镜移动到所述目标晶圆中另一所述预设标记点对应的理想位置，以通过同样的螺旋式采集方法、图像拼接方法和模板匹配方法，获取包含有另一所述预设标记点的拼接图像，得到至少两个包含有所述预设标记点的拼接图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人季华实验室，其通讯地址为：528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。