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湖南德智新材料股份有限公司刘毅获国家专利权

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龙图腾网获悉湖南德智新材料股份有限公司申请的专利预测沉积厚度的方法、存储介质和电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120724917B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511203399.8,技术领域涉及:G06F30/28;该发明授权预测沉积厚度的方法、存储介质和电子设备是由刘毅;余盛杰;廖家豪设计研发完成,并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

预测沉积厚度的方法、存储介质和电子设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种预测沉积厚度的方法、存储介质和电子设备,以实现对沉积厚度的预测,为优化化学反应过程及优化反应腔的结构设计提供重要的依据,以提高实际生产中靶材的沉积厚度的均匀性。预测沉积厚度的方法包括对三维模型进行网格划分,得到网格化模型;将网格化模型导入数值求解器,并对数值求解器中的工作条件、湍流模型、能量模型和辐射模型进行设定;对瞬态求解器中的计算条件进行设定,计算条件包括沉积时间、时间步长和最大迭代次数;进行迭代求解,并对迭代求解的结果进行处理,得到靶材的沉积厚度。通过对网格化模型进行瞬态求解,可以实时计算不同时刻流场和化学反应的状态,进而实现对沉积厚度的预测。

本发明授权预测沉积厚度的方法、存储介质和电子设备在权利要求书中公布了:1.一种预测沉积厚度的方法,其特征在于,包括: 对三维模型进行网格划分,得到网格化模型,包括:将所述三维模型划分为运动区域和非运动区域,利用多面体单元类型对所述运动区域和所述非运动区域进行所述网格划分,得到所述网格化模型,其中,所述三维模型包括具有反应腔的炉体、可转动地安装在所述反应腔内的料架以及装载到所述反应腔内的靶材,所述运动区域为进行化学沉积过程中发生运动的区域,所述非运动区域为进行化学沉积过程中不发生运动的区域,所述网格化模型包括多个网格单元,至少一部分所述网格单元为对应所述料架的动网格单元,与所述运动区域对应的网格单元为所述动网格单元; 将所述网格化模型导入数值求解器,并对所述数值求解器中的工作条件、湍流模型、能量模型和辐射模型进行设定,其中,所述工作条件包括反应温度、反应压力和气体的性质; 对瞬态求解器中的计算条件进行设定,所述计算条件包括沉积时间、时间步长和最大迭代次数; 确定控制流动的离散代数方程组,并对所述网格化模型的区域条件和边界条件进行设定; 进行迭代求解,得到瞬态场的化学反应场,对所述瞬态场的化学反应场进行处理,得到每个所述时间步长内每个所述网格单元的沉积速率; 基于每个所述时间步长内每个所述网格单元的沉积速率、所述时间步长以及所述沉积时间,得到每个所述网格单元的沉积厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖南德智新材料股份有限公司,其通讯地址为:412000 湖南省株洲市天元区金马路156号湖南德智半导体产业园1号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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