东莞市鸿运电子有限公司卜小平获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市鸿运电子有限公司申请的专利一种线路板蚀刻液浓度控制方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120669772B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510808941.6,技术领域涉及:G05D11/13;该发明授权一种线路板蚀刻液浓度控制方法及系统是由卜小平;胡杰;梅祥设计研发完成,并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种线路板蚀刻液浓度控制方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及集成电路制造技术领域,具体为一种线路板蚀刻液浓度控制方法及系统,包括以下步骤:对线路板蚀刻液进行实时监测,获取电导率读数与温度读数,对照线路板蚀刻工艺的预设电导率范围与温度范围,校验并筛选数据,建立有效蚀刻参数集。本发明通过实时监测线路板蚀刻液的电导率与温度数值,建立有效蚀刻参数集,实现数据校验和筛选,提升监测精度并减少了数据异常的干扰,确保蚀刻液浓度估计的可靠性;利用电导率与蚀刻剂浓度基准关系曲线对浓度进行实时推算和修正,结合蚀刻液的先验老化特性及传感器的漂移概率进行修正与概率分析,增强浓度估计的准确度和稳定性。
本发明授权一种线路板蚀刻液浓度控制方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种线路板蚀刻液浓度控制方法,其特征在于,包括以下步骤: 对线路板蚀刻液进行实时监测,获取电导率读数与温度读数,对照线路板蚀刻工艺的预设电导率范围与温度范围,校验并筛选数据,建立有效蚀刻参数集; 基于所述有效蚀刻参数集,调用电导率值并结合电导率与蚀刻剂浓度基准关系曲线,推算蚀刻剂浓度,生成蚀刻剂浓度估计结果,基于所述蚀刻剂浓度估计结果,结合线路板蚀刻液的先验老化特性与传感器固有漂移概率,建立蚀刻剂浓度概率分布; 基于所述蚀刻剂浓度概率分布与所述有效蚀刻参数集中的温度值,评估当前溶液的反应活性,获取当前蚀刻液活性度,基于所述当前蚀刻液活性度,判断溶液效能衰减程度,获取蚀刻液综合效能概率点集; 基于所述蚀刻液综合效能概率点集,将效能概率点与线路板蚀刻最低可接受效能阈值及最优效能目标区间进行比较,识别效能概率点与阈值或区间的偏离状态,得到超出阈值风险点识别结果,基于所述超出阈值风险点识别结果,匹配线路板制造工艺风险等级,生成蚀刻工艺偏差预警代码。
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