河北坤润半导体材料有限责任公司杨龙获国家专利权
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龙图腾网获悉河北坤润半导体材料有限责任公司申请的专利一种石墨基涂层表面颗粒检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120651713B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510867360.X，技术领域涉及：G01N15/00；该发明授权一种石墨基涂层表面颗粒检测方法是由杨龙;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨基涂层表面颗粒检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种石墨基涂层表面颗粒检验方法，属于半导体技术领域，包括步骤有在石墨基样品两侧各设置升降装置，并使光源模块和接收器分别连接于两组升降装置，通过两组升降装置的同时运行，以同步驱动光源模块和接收器从石墨基样品涂层上端向上匀速移动，通过计量接收器接收光信号的时间用于识别石墨基样品涂层表面颗粒，通过计量接收器接收到光信号所用时间以及其移动速度，用于计算石墨基样品涂层表面颗粒高度信息。本发明提供的一种石墨基涂层表面颗粒检测方法，能够有效准确识别石墨基涂层表面颗粒并能对存在的颗粒进行测量，利于控制表面颗粒，保障产品性能和提升生产良率。
本发明授权一种石墨基涂层表面颗粒检测方法在权利要求书中公布了：1.一种石墨基涂层表面颗粒检测方法，其特征在于，包括如下步骤： S10：在石墨基样品两相对侧各设置一组升降装置，使所述升降装置具有沿石墨基样品高度方向移动自由度； S20：在石墨基样品一侧的所述升降装置上设置光源模块，使所述光源模块的发光方向平行于石墨基样品上表面且沿水平方向； S30:在石墨基样品另一侧的所述升降装置上设置接收器，使所述接收器能接收所述光源模块发出的光信号； S40：使所述光源模块和所述接收器同步从石墨基样品涂层上端向上匀速移动，通过计量所述接收器接收光信号的时间用于识别石墨基样品涂层表面颗粒，通过计量所述接收器接收到光信号所用时间以及其移动速度，用于计算石墨基样品涂层表面颗粒高度信息； 当开始移动时，同时计时，如计时为零，即还没开始移动所述接收器就能收到光信号，则判定为在涂层上不存在颗粒；如移动一段时间后才接收到光信号，则说明涂层上存在颗粒。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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