郑州中瓷科技有限公司陈晓获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州中瓷科技有限公司申请的专利一种静电卡盘专用导电浆料及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120600375B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510718583.X，技术领域涉及：H01B1/22；该发明授权一种静电卡盘专用导电浆料及其制备方法和应用是由陈晓;孔丽萍;吴崇隽;陈磊;袁晶;马进克;郑玉洁设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘专用导电浆料及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种静电卡盘专用导电浆料及其制备方法和应用，所述导电浆料包括如下质量百分比的制备：钨粉80~85%、氧化钕0.4~0.8%、氧化铝1~1.5%、二氧化硅1~1.5%、有机载体10~16%、分散剂1.5~2.8%。本发明导电浆料通过引入氧化钕颗粒，使其应用在静电卡盘中的电极层时，能够显著提升电极层的致密度，降低方阻，展现出优异的导电性能，从而使静电卡盘具有良好的静电吸附能力，同时协同二氧化硅和氧化铝湿渗透到静电卡盘陶瓷基底内部，并与陶瓷形成机械互锁结构，从而增强了电极层与陶瓷基底之间的结合力。
本发明授权一种静电卡盘专用导电浆料及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘专用导电浆料，其特征在于，以质量百分比计，包括钨粉80~85%、氧化钕0.4~0.8%、氧化铝1~1.5%、二氧化硅1~1.5%、有机载体10~16%、分散剂1.5~2.8%，所述分散剂为大豆卵磷脂、壬基酚聚乙烯醚中的任意一个或者任意两者的混合物； 所述静电卡盘专用导电浆料的制备方法包括以下步骤： 用干法球磨将钨、氧化钕、氧化铝粉末球磨2-3h，转速为40-60rpmmin，得到共混粉末A； 将共混粉末A和分散剂在加热温度40-90℃、搅拌转速1800-2100rmin下均匀分散在有机载体中，冷却后得到导电浆料前驱体； 将前驱体在三辊研磨机中轧制至细度小于10μm，并脱泡3-8min，得到导电钨浆。
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