盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备(上海)有限公司段航获国家专利权
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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备(上海)有限公司申请的专利排气用防腐组件及炉管设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120591755B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511100391.9，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权排气用防腐组件及炉管设备是由段航;周冬成设计研发完成，并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本排气用防腐组件及炉管设备在说明书摘要公布了：一种排气用防腐组件及炉管设备，排气用防腐组件包括管体及装设于管体中的内衬管，内衬管包括第一石英管和第二石英管，第一石英管包括第一管段和第二管段，第一管段包括第一端和第二端，第一端与排气口接通，第二端与第二管段连接；第一端的内径大于第二端的内径，使气体在第二端的流速大于气体在第一端的流速，第二石英管套设于第二管段外部，第二石英管和第二管段具有间隙，所述第二石英管的内径小于所述第一端的内径。本申请通过设置内衬管能减少腐蚀性气体与管体的直接接触，能减少金属氟化物的产生，第一石英管的第二端处能实现气体流速的加快，降低前驱体的沉积附着，提高排气能力，还有利于防止气体回流，提高晶圆的电性性能。
本发明授权排气用防腐组件及炉管设备在权利要求书中公布了：1.一种排气用防腐组件，用于炉管设备，其特征在于，包括： 管体，与所述炉管设备的排气口连通； 内衬管，装设于所述管体内； 其中，所述内衬管包括第一石英管和第二石英管，所述第一石英管包括第一管段和第二管段，所述第一管段包括第一端和第二端，所述第一端与所述排气口连接，所述第二端与所述第二管段连接，所述第一端的内径大于所述第二端的内径，以使气体在所述第二端的流速大于气体在所述第一端的流速；所述第二石英管套设于所述第二管段的外部，所述第二石英管的内径小于所述第一端的内径，所述第二石英管与所述第二管段具有间隙。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛美半导体设备(上海)股份有限公司;盛帷半导体设备(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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