湖南大学李伟获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利一种硬脆元件超声辅助磁控等离子体抛光方法与装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120236984B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510383968.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种硬脆元件超声辅助磁控等离子体抛光方法与装置是由李伟;黄前程;胡小龙;刘嘉明;乐沙玖设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硬脆元件超声辅助磁控等离子体抛光方法与装置在说明书摘要公布了：本申请属于硬脆难加工光学元件加工技术领域，具体涉及一种硬脆元件超声辅助磁控等离子体抛光方法与装置，该方法包括：混合工作气体与压缩氧气并稳压输送至等离子导管；通过高压钨针电极电离气体，生成等离子体射流，并调节放电参数；利用环形超声阵列形成高强度超声场，抑制电弧发散，使射流聚焦有序；引导射流进入锥形旋转磁场区域，通过旋转磁场二次聚焦与加速，提高能量集中度；射流作用于光学元件表面，实现物理刻蚀或化学反应。本申请通过旋转磁场约束等离子体，精确控制运动轨迹，提高加工精度，解决了现有技术中电弧失稳、加工效率低、表面粗糙度高、亚表面损伤及材料适应性差的问题。
本发明授权一种硬脆元件超声辅助磁控等离子体抛光方法与装置在权利要求书中公布了：1.一种硬脆元件超声辅助磁控等离子体抛光方法，其特征在于，所述方法包括： 步骤1：将工作气体与压缩氧气按预设比例混合，并通过气体减压混合器进行压力调节，使混合气体稳定流入等离子导管的内腔； 步骤2：通过高压钨针电极在高频高压作用下对混合气体进行电离，产生等离子体射流，并通过变频匹配控制器调节放电参数； 步骤3：使所述等离子体射流通过环形超声阵列，在环形超声阵列控制器的驱动下形成高强度超声场，利用超声场抑制电弧发散无序状态，使其向集中有序状态转变，并调控等离子体的运动轨迹，对等离子体射流进行预聚焦； 步骤4：将经超声场预聚焦的等离子体射流引导至锥形旋转磁场区域，利用锥形旋转磁场发生装置在锥形线圈铁芯的作用下产生锥形旋转磁场，对预聚焦后的等离子体射流进行二次聚焦与加速； 步骤5：将经磁场二次聚焦和加速后的等离子体射流束作用于待加工的光学元件表面，通过等离子体中的高能活性粒子与光学元件材料表面发生物理刻蚀或化学反应。
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