北京北方华创微电子装备有限公司梅润川获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利互锁电路和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120164834B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311735657.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权互锁电路和半导体工艺设备是由梅润川;曹振勇设计研发完成，并于2023-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本互锁电路和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种互锁电路和一种半导体工艺设备，互锁电路包括第一控制开关和第二控制开关，其中第一控制开关用于在静电卡盘的静电吸附电压小于预设电压阈值时，断开工控机输出的泄压阀控制信号，并将工控机输出的进气阀控制信号连通至第二控制开关的控制端；第二控制开关用于在其控制端与进气阀控制信号连通时，向背吹管路的进气阀输出关闭信号，并向背吹管路的泄压阀输出开启信号。本发明通过互锁电路实现本地硬件互锁，能够避免晶圆因飘移或飞片碰撞而造成损伤，保证半导体工艺的安全性。
本发明授权互锁电路和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种用于静电卡盘背吹管路的互锁电路，其特征在于，包括第一控制开关和第二控制开关，其中 所述第一控制开关的第一端用于与工控机的进气阀控制信号输出端口电连接，所述第一控制开关的第二端用于与所述工控机的泄压阀控制信号输出端口电连接，所述第一控制开关的第三端与所述第二控制开关的控制端电连接；所述第一控制开关用于在所述静电卡盘的静电吸附电压小于预设电压阈值时被触发，使得所述第一端与所述第三端连通，以断开工控机输出的泄压阀控制信号，并将所述工控机输出的进气阀控制信号连通至所述第二控制开关的控制端； 所述第二控制开关的第四端用于与所述背吹管路的进气阀电连接，所述第二控制开关的第五端与所述背吹管路的泄压阀电连接，在所述第二控制开关的控制端与所述进气阀控制信号连通时，若所述进气阀控制信号为开启，所述第二控制开关被触发，以使得所述进气阀关闭且所述泄压阀开启；或者 若所述进气阀控制信号为关闭，所述第二控制开关未被触发，以使得所述进气阀和所述泄压阀关闭。
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