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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120164806B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311716797.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备是由范光华;李璇设计研发完成，并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供了承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备；其中，该方法包括：对于承载装置的多个温区，计算任意相邻两个温区之间的温度差值，得到多个温差，将差不大于第一阈值，且，不小于第二阈值的温差确定为目标温差；对任一目标温差，控制目标温差对应的高温区的温度不再升高，并控制目标温差对应的低温区继续按照对应的初始目标温度进行加热，以降低目标温差至不大于第三阈值。上述控制方式中，通过控制目标温差的高温区温度不再升高，低温区继续加热，以降低目标温差，避免了相邻两个温区之间的温度差异较大，从而缓解了多个温区升温速率不一致的问题，进而避免了多个温区之间温度差异较大导致损坏承载装置，保证了承载装置的使用寿命。

本发明授权承载装置的温度控制方法及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种承载装置的温度控制方法，所述承载装置设置有多个温区，每个所述温区设置有对应的初始目标温度；其特征在于，所述方法包括： 获取各个所述温区的当前温度，并计算任意相邻两个所述温区之间的温度差值，得到多个温差； 对任一温差，若所述温差不大于第一阈值，且，不小于第二阈值，则将所述温差确定为目标温差； 对任一目标温差，控制所述目标温差对应的高温区的温度不再升高，并控制所述目标温差对应的低温区继续按照对应的所述初始目标温度进行加热，以降低所述目标温差至不大于第三阈值；其中，所述高温区为所述目标温差对应的相邻两个所述温区中温度较高的温区，所述低温区为所述目标温差对应的相邻两个所述温区中温度较低的温区，所述第三阈值小于所述第二阈值； 每个所述温区还配置有控制参数；其中，所述控制参数包括比例参数P；在多个所述温区加热过程中，获取每个所述温区作为所述高温区的次数；若任一温区作为所述高温区的次数达到第一预设次数，则增加所述温区的所述比例参数P。

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