北京北方华创微电子装备有限公司陈兆滨获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120164770B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311725072.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权半导体工艺设备是由陈兆滨设计研发完成，并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种半导体工艺设备，包括：工艺腔室、第一射频馈入件、第二射频馈入件、第一匹配器和阻抗可调装置；工艺腔室包括：腔体和承载装置，承载装置设于腔体内，第一射频馈入件的一端穿入腔体并与承载装置连接，第一射频馈入件的另一端穿入阻抗可调装置，第二射频馈入件的一端穿入阻抗可调装置并与第一射频馈入件的另一端滑动连接，第二射频馈入件的另一端与第一匹配器连接；阻抗可调装置连接于第一匹配器与腔体之间，用于调节第一匹配器与腔体之间的距离，以调节半导体工艺设备中下电极的阻抗。本申请能够解决相关技术中下电极阻抗调节性差的问题。
本发明授权半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：工艺腔室、第一射频馈入件410、第二射频馈入件420、第一匹配器510和阻抗可调装置100； 所述工艺腔室包括：腔体200和承载装置300，所述承载装置300设于所述腔体200内，所述第一射频馈入件410的一端穿入所述腔体200并与所述承载装置300连接，所述第一射频馈入件410的另一端穿入所述阻抗可调装置100，所述第二射频馈入件420的一端穿入所述阻抗可调装置100并与所述第一射频馈入件410的另一端滑动连接，所述第二射频馈入件420的另一端与所述第一匹配器510连接； 所述阻抗可调装置100连接于所述第一匹配器510与所述腔体200之间，用于调节所述第一匹配器510与所述腔体200之间的距离，以调节半导体工艺设备中下电极的阻抗。
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